[发明专利]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其中，

所述显影装置具备：

显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，调制出浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；

显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；

显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；

纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及

显影液管理装置，其将所述反复使用的所述显影液管理为规定的成分浓度或者规定的浓度范围。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

密度仪，其对所述反复使用的所述显影液的密度值进行测定；以及

控制机构，其基于由所述密度仪测定出的所述密度值，使用所述反复使用的所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系，以使所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者规定的管理值以下的方式向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀以及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。

3.根据权利要求1所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

密度仪，其对所述反复使用的所述显影液的密度值进行测定；以及

运算控制机构，其具备运算部和控制部，

所述运算部基于由所述密度仪测定出的所述密度值，根据所述反复使用的所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度，

所述控制部基于由所述运算部算出的所述吸收二氧化碳浓度的值，以使所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者规定的管理值以下的方式向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀以及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。

4.根据权利要求1所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

密度仪，其对所述反复使用的所述显影液的密度值进行测定；

运算机构，其基于由所述密度仪测定出的所述密度值，根据所述反复使用的所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度；以及

控制机构，其基于由所述运算机构算出的所述吸收二氧化碳浓度的值，以使所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者规定的管理值以下的方式向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀以及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。