[发明专利]光谱仪及光谱检测系统

权利要求书

1.一种光谱仪，其特征在于，包括：透光基体(1)，所述透光基体(1)的外表面包括第一表面区域(11)、第二表面区域(12)、第三表面区域(13)、第四表面区域(14)和第五表面区域(15)，其中，所述第一表面区域(11)形成为弧面，且其上附着有第一反射膜(16)，以形成准直部(2)；所述第二表面区域(12)形成为弧面，且其上附着有第二反射膜(17)，以形成聚焦部(3)；所述第三表面区域(13)形成为平面，其上附着有第三反射膜(18)，并且所述第三反射膜(18)上设置有多条平行刻槽，以形成光栅(4)；所述第四表面区域(14)形成为平面，且其上设置有入射狭缝(5)；所述第五表面区域(15)上设置有探测器(6)，其中，经所述入射狭缝(5)入射的光依次经过所述准直部(2)、所述光栅(4)和所述聚焦部(3)后到达所述探测器(6)。

2.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述第五表面区域(15)形成为柱面或平面。

3.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述透光基体(1)的材质为光学玻璃或树脂。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的光谱仪，其特征在于，所述第一表面区域(11)和/或所述第二表面区域(12)的曲率半径在[10mm,300mm]范围内。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的光谱仪，其特征在于，所述入射狭缝(5)与所述第四表面区域(14)之间的距离和/或所述探测器(6)与所述第五表面区域(15)之间的距离可调。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的光谱仪，其特征在于，所述第一反射膜(16)、所述第二反射膜(17)、所述第三反射膜(18)中的至少一者为金属反射膜，或者为全电介质反射膜。

7.根据权利要求6所述的光谱仪，其特征在于，所述金属反射膜为铝膜、银膜、金膜中的其中一者。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的光谱仪，其特征在于，所述探测器(6)为电荷稠合器件、互补金属氧化物半导体或光电倍增管。

9.一种光谱检测系统，包括探头和光谱仪，其特征在于，所述光谱仪为根据权利要求1-8中任一项所述的光谱仪。

10.根据权利要求9所述的光谱检测系统，其特征在于，所述探头为拉曼探头。