[发明专利]电容式液位传感器及真空度在线监测装置

权利要求书

1.一种电容式液位传感器，其特征在于，包括：电容器，信号线；

所述电容器包括第一电极和第二电极，所述第一电极为由梳状结构围成的圆筒形，多个间隔相同的极板构成所述梳状结构，所述第二电极的结构与所述第一电极的结构完全相同，所述第一电极与所述第二电极的极板相互交替形成交叉手指状结构；

所述第一电极和所述第二电极分别引出信号线，所述信号线从所述第一电极和所述第二电极围成的圆筒内部引出。

2.根据权利要求1所述的电容式液位传感器，其特征在于，所述第一电极相邻两个极板的间隔距离小于1毫米。

3.根据权利要求1所述的电容式液位传感器，其特征在于，所述信号线外包裹有电磁屏蔽层。

4.根据权利要求1所述的电容式液位传感器，其特征在于，所述信号线外包裹有绝缘层。

5.根据权利要求1所述的电容式液位传感器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的外表面附有绝缘层。

6.一种真空度在线监测装置，其特征在于，包括：

权利要求1-5中任一项所述的电容式液位传感器，所述电容式液位传感器设置在用于密封真空区域的液体的液面处；

信号处理单元，所述信号处理单元的信号采集端与所述电容式液位传感器的两条信号线连接，所述信号处理单元用于监测所述电容式液位传感器的电容变化，根据电容变化监测真空度。

7.根据权利要求6所述的真空度在线监测装置，其特征在于，所述电容式液位传感器垂直于所述液体的液面放置。

8.根据权利要求6所述的真空度在线监测装置，其特征在于，还包括报警单元，所述报警单元与所述信号处理单元的输出端连接，所述信号处理单元一旦检测到所述电容式液位传感器的电容变化值超过阈值，则输出报警信号，通过所述报警单元实现报警。

9.根据权利要求8所述的真空度在线监测装置，其特征在于，还包括传感器单元，所述传感器单元设置在所述液体内，用于监测环境参数，所述传感器单元的输出端与所述信号处理单元连接，所述信号处理单元还用于根据所述环境参数修正所述电容变化值。

10.根据权利要求9所述的真空度在线监测装置，其特征在于，所述传感器单元包括：温度传感器、电导率传感器，所述环境参数包括：温度和电导率。