[发明专利]干燥设备

说明书

本发明提供一种干燥设备，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。本发明提供的一种干燥设备，通过设置腔体并在腔体内设置出风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。

技术领域

本发明属于OLED制作技术领域，尤其涉及一种干燥设备。

背景技术

在OLED显示器件的蒸镀制程中所用的掩膜版(MASK)，通常采用在金属材料上设置开口，蒸镀材料通过开口沉积于基板上形成薄膜。MASK使用后必须进行清洗，并且要保证在清洗后MASK不得残留任何污点，否则，每个产品均会出现相同的不良。MASK清洗主要在盒状容器(cassette)内进行，cassette保持洁净干燥是保证MASK清洁的重要手段，cassette目前主要采用一个风管吹风方式进行干燥，现有的干燥方法效率低，不能满足生产的需求。

发明内容

本发明的目的是提供一种干燥设备，以解决现有技术所存在干燥效率低的问题。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间盒状容器设于所述空间内。

在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述底板包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀和所述第三风刀与所述第二风刀共同构建一个垂直于所述第一平面的第二平面。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述第一风刀包括第一管道和第一喷嘴，所述第一喷嘴相对所述第一管道倾斜并使所述第一喷嘴具有朝向所述底板方向的角度；所述第三风刀包括第三管道和第三喷嘴，所述第三喷嘴相对所述第三管道倾斜并使所述第三喷嘴具有朝向所述底板方向的角度，所述第三喷嘴倾斜的角度与所述第一喷嘴倾斜的角度相同。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述第二风刀包括第二管道和第二喷嘴，所述第二喷嘴相对所述第二管道倾斜，并使所述第二喷嘴具有倾斜于所述第一平面的角度。

结合第一方面及第一方面的第二种或第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述盒状容器包括板架，两个所述板架相对设置，所述板架上设有支撑条，所述支撑条用于支撑掩膜版。

结合第一方面及第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述支撑条设有多层，以使所述板架支撑多块所述掩膜版，所述第一风刀包括多个所述第一喷嘴，多个所述第一喷嘴沿所述第一管道方向间隔设置。

结合第一方面及第一方面的第五种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述腔体内还设有第四风刀，所述第四风刀设于所述第一风刀之相对所述底板的相邻一侧，所述第四风刀包括第四管道和第四喷嘴，所述第四喷嘴设置于所述第四管道上，所述第四喷嘴相对所述第四管道上下移动。

结合第一方面及第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述第四管道可转动360°，以带动所述第四喷嘴向四面吹风。