[发明专利]一种自动炉管清洗机构

说明书

本发明提供一种自动炉管清洗机构，包括清洗装置、与清洗装置连通的供液管路和设置于清洗装置内的旋转装置，供液管路上设有气控隔膜阀，旋转装置包括旋转支架和带动旋转支架转动的旋转电机，旋转支架上设置有滚轮。本发明的有益效果是采用自动化设备，操作人员只需确认设备状态后，按下开始按钮即可通过控制系统控制自动完成每一步动作，大大缩减了操作人员的操作难度以及劳累程度，避免了炉管清洗过程中，手动对炉管进行搬运，容易因失误造成炉管损坏，作业员可同时兼顾其他设备作业，提高生产效率。

技术领域

本发明属于机械自动化技术领域，尤其是涉及一种自动炉管清洗机构。

背景技术

随着半导体行业的发展，圆形半导体硅片的加工产能需求日趋增加，需要一种自动化程度高，生产效率高的设备，实现自动清洗炉管，取代人工繁琐的手动作业。目前炉管清洗设备需要手动对炉管进行旋转，炉管清洗后，将药液排掉，再进行冲水，人工将冲好的炉管搬运到固定位置进行自然干燥。整个炉管清洗的过程及中转过程完全手动操作。这种操作存在以下缺点：

1.清洗中手动对炉管进行旋转及搬运，容易造成炉管损坏；

2.清洗中手动对炉管进行旋转，对工作人员易造成危险事故；

3.对可再利用的药液直接排放，造成浪费，增加成本。

发明内容

本发明的目的是要解决背景技术中针对手动清洗炉管作业的问题，提供一种自动炉管清洗机构，利用自动化设备代替人工自动配置供给药液、旋转炉管清洗，完成炉管清洗工作。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种自动炉管清洗机构，包括清洗装置、与所述清洗装置连通的供液管路和设置于所述清洗装置内的旋转装置，所述供液管路上设有气控隔膜阀，所述旋转装置包括旋转支架和带动所述旋转支架转动的旋转电机，所述旋转支架上设置有滚轮。

优选地，所述清洗装置还包括设置于所述清洗装置上部的溢流结构。

优选地，所述溢流结构为直径在1-100mm之间的不规则圆孔。

优选地，还包括供液泵和液位检测装置，所述供液泵连接所述供液管路，所述液位检测装置用于检测所述清洗装置内的液位高度。

优选地，所述清洗装置的底部设置排放口，所述排放口连接废液回收管路。

优选地，还包括废液排放管路和气动阀，所述气动阀设置于所述废液回收管路与所述废液排放管的连接处。

优选地，所述气动阀、所述气控隔膜阀和所述液位检测装置均与PLC控制系统连接。

优选地，所述清洗装置采用NPP材料。

本发明具有的优点和积极效果是：

1.采用自动化设备，操作人员只需确认设备状态后，按下开始按钮即可通过控制系统控制自动完成每一步动作，大大缩减了操作人员的操作难度以及劳累程度，避免了炉管清洗过程中，手动对炉管进行搬运，容易因失误造成炉管损坏，作业员可同时兼顾其他设备作业，提高生产效率；

2.利用药液回收管路，气动阀通过控制系统控制，更加稳定，同时降低了生产成本，提高了生产效率，减少对可再利用药液的直接排放造成的浪费，并且避免了直接排放药液对环境的污染。

附图说明

图1是本发明一实施例的结构示意图；

图2是图1中旋转装置的结构示意图。

图中：

1、清洗装置 2、旋转装置 3、供液管路

4、废液回收管路 5、气控隔膜阀 6、供液泵