[发明专利]一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液在审
申请号: | 201711188730.9 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN107966887A | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 殷德军;陈昊;朱德意 | 申请(专利权)人: | 无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙)11572 | 代理人: | 段宇 |
地址: | 214000 江苏省无锡市锡山区安*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体管 液晶 触摸屏 中的 钼铝光阻 剥离 | ||
技术领域
本发明涉及一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液。
背景技术
目前,低温水系正胶剥离液,透明易挥发性液体,易燃,密度(25℃)约为1.0g/ml。钼铝光阻剥离液主要用于晶体管液晶触摸屏面板生产的光阻剥离,其使用工艺温度为80℃左右;目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)和超纯水组成,该产品主要存在以下几点缺点:
1)用该低温水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击,导致产品良率降低;
2)该低温水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高,需加热到80℃左右,能耗
较大;
3)乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。
因此有必要提供一种改良的钼铝光阻剥离液及其制备方法,提高晶体管液晶触摸屏制造工艺中的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液。
本发明为实现上述目的,采用如下技术方案:一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,包括以下重量百分比的组合物:
进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:
进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:
进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:
进一步的,所述有机醇胺的浓度为82~89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85~95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90~98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85~95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76~88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8~99.9%(重量百分比)。
进一步的,所述有机醇胺的浓度为82%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8%(重量百分比)。
进一步的,所述有机醇胺的浓度为86%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为90%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为94%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为90%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为82%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.5%(重量百分比)。
进一步的,所述有机醇胺的浓度为89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.9%(重量百分比)。
本发明的有益效果:本发明提供的晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,能够提高液晶触摸屏产品的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
具体实施方式
下面通过实施例进一步描述本发明,但不限于所举的实施例。
实施例1、称取10kg的有机醇胺,然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中,并充分搅拌,搅拌温度为40度,搅拌气压为1.2Mpa,搅拌时间为10分钟,搅拌的速度为45转/分;
然后称取12kg的三乙醇胺溶液、1.2kg的邻氟苯甲酸、5kg的乙稀基正丁醚、2.5kg的异丙基正硫醚、0.2kg的非质子性溶剂和适当去离子水,并充分搅拌,搅拌温度为30度,搅拌气压为2.2Mpa,搅拌时间为15分钟,搅拌的速度为55转/分;
最后开动隔膜泵,将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤2小时,再经0.12μm的过滤器过滤,以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子,即得钼铝光阻剥离液。
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