[发明专利]一种铝靶材组件的摩擦扩散焊方法

权利要求书

1.一种铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：对铝靶材和铝背板的待焊接面进行机械打磨及清洗处理；

步骤2：将步骤1处理后的铝靶材和铝背板通过夹具固定使两者的待焊接面相对布置，通过驱动夹具使铝靶材和铝背板的待焊接面相互靠拢，并且在靠拢过程中至少一个进行旋转，在铝背板和铝靶材接触后，增加压强至0.5MPa～2.0MPa保持5s～25s后完成初步摩擦焊接；

步骤3；将步骤2完成初步摩擦焊接的铝靶材组件置于轴向加压扩散焊炉内，抽真空，加热至250℃～350℃并轴向加压至10MPa～20MPa，保温保压1～5小时；

步骤4：冷却步骤3处理后的铝靶材组件。

2.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤2中，铝靶材相对铝背板的旋转速度为10～100r/min。

3.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤2中，夹持有铝靶材的夹具进行旋转。

4.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤2中，增加压强至0.8MPa～1.2MPa。

5.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤1中，铝靶材和铝背板的待焊接面的表面粗糙度Ra值不高于1.6。

6.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤4中，焊后铝靶材组件随真空扩散焊炉冷却。

7.如权利要求1所述的铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，其特征在于，步骤1中，使用0.1mol/L的氢氧化钠溶液对待焊接面进行清洗，清洗时间为10min～20min。