[发明专利]离子源支承台

说明书

本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。

技术领域

本发明涉及支承离子源的离子源支承台。

背景技术

如专利文献1所示，作为以往的离子源支承台，有一种用于放置并搬运从离子束照射装置等装置主体拆下的离子源的离子源支承台。在所述专利文献1中记载了：为了以稳定的状态搬运高度尺寸大的离子源，使处于立起姿势的离子源倒伏，以高度尺寸变小的倒伏姿势支承离子源。

具体地说，离子源具备以夹着离子引出口的方式设置的一对辊，在离子源支承台上设置有可转动地放置一对辊的一对轨道。

此外，当从装置主体拆下离子源时，通过在离子源的比重心更靠后侧的位置安装金属线并把离子源悬吊起来，由此使离子源变为前倾姿势，在该前倾姿势下将辊放置到轨道上。由此，在将辊放置到轨道上之后，通过逐渐地降低离子源，离子源由于自重向前方倒伏，变成倒伏姿势。

但是，如上所述，如果想要在保持将离子源悬吊的状态下将辊放置到轨道上，则例如有可能存在下述问题：离子源晃动，变成不稳定的状态，引起辊和轨道的位置偏离。如果在已产生了位置偏离的状态下将辊放置到轨道上，则有可能存在下述问题：辊从轨道脱离，离子源从离子源支承台掉下，离子源和离子源支承台产生破损，在离子源支承台的周围发生人为灾祸。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-110827号

发明内容

因此，本发明是用于解决所述的问题而做出的发明，本发明的主要目的在于能够以稳定的状态使放置在离子源支承台上的离子源成为倒伏姿势。

即，本发明的离子源支承台，其放置离子源，所述离子源包括长条状的等离子体生成容器和一对下侧辊，所述一对下侧辊设置在所述等离子体生成容器的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁上，在所述侧壁设置有一对上侧辊，对于所述下侧辊和所述上侧辊，在所述离子源安装在装置主体的状态下，所述下侧辊、所述上侧辊和所述离子源的重心沿铅垂方向直线状地配置，所述离子源支承台包括：一对轨道，在所述离子源悬吊的状态下，可转动地放置所述一对下侧辊；以及牵引机构，在所述一对下侧辊放置在所述一对轨道上的状态下，将所述离子源从所述轨道的一端侧向另一端侧牵引，所述牵引机构具有移动体和一对输送带，所述移动体设置在所述一对轨道的外侧，能够从所述轨道的一端侧向另一端侧移动，所述一对输送带沿所述轨道设置在所述一对轨道的各自的外侧，所述移动体边接触与所述等离子体生成容器一体设置的被接触部件边移动，所述移动体分别安装在所述一对输送带上。

此外，在此所说的“从一端侧向另一端侧牵引”是指牵引方向是从轨道的一端侧朝向另一端侧的方向，无需一定将辊放置在轨道的一端侧、将离子源一直牵引到到达轨道的另一端侧。

按照这样构成的离子源支承台，由于在一对下侧辊放置在一对轨道上的状态下，牵引机构从轨道的一端向另一端牵引离子源，所以即使假设悬吊着的离子源处于不稳定的状态，也能够在牵引离子源时，使离子源成为稳定的状态。由此，能够以稳定的状态使离子源成为倒伏姿势，并能够以稳定的姿势搬运离子源。

优选的是，所述牵引机构具有移动体，所述移动体设置在所述一对轨道的外侧，能够从所述轨道的一端侧向另一端侧移动，所述移动体边接触与所述等离子体生成容器一体设置的被接触部件边移动。