[发明专利]一种旋转体镀膜夹具

说明书

本发明公开一种旋转体镀膜夹具，涂镀密闭空间中设置转盘，所述转盘与转轴固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘上设置多组托盘，所述托盘的外缘均设置齿轮，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮超出转盘的外侧边缘并与档杆啮合，所述档杆固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。本发明的优点是：夹具在同一托盘上可放置多个，驱动托盘与档杆配合形成各个托盘的自转，同时转盘带动托盘公转，这样就解决了零件在腔体中往往只能涂镀一面，存在“阴阳”面的现象。

技术领域

本发明涉及一种旋转体镀膜夹具，特别是用于离子镀、PVD、CVD等靶材蒸镀或溅射表面涂镀技术专用夹具。

背景技术

目前，旋转体类零件在进行离子镀、蒸镀、PVD、CVD等靶材类蒸镀或溅射表面技术进行应用时，零件静止放置在密闭的腔体中，腔体有一中心柱旋转，带动腔体内转盘或挂钩进行旋转。靶材受到能量激发，蒸镀或溅射在零件表面，形成表面镀层。

零件在腔体中往往只能涂镀一面，存在“阴阳”面的现象。解决办法往往只能二次涂镀，即使二次涂镀对旋转体类零件在其圆周方向上也存在镀层不均匀的现象。

发明内容

本发明的目的是提供一种解决旋转体零件涂镀不均匀问题的装置，具体技术方案如下：

一种旋转体镀膜夹具，涂镀密闭空间中设置转盘，所述转盘与转轴固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘上设置多组托盘，所述托盘的外缘均设置齿轮，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮超出转盘的外侧边缘并与档杆啮合，所述档杆固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。

为便于同时加工多个工件，所述托盘的中心设置固定杆，工件穿套在所述固定杆上。

为合理排列转盘的平面空间及保证托盘间的啮合，所述转盘上设置多个转动装置。

为调整公转一圈时托盘的自转角度，所述档杆为多个，沿转盘的圆周排列；所述档杆可以设置调整装置以保证沿转盘的径向进行调节，适应托盘不同角度的自转；

所述调整装置包括沿转盘的径向设置的滑道，滑道上设置滑座，档杆固定在滑座上，所述滑座与调整杆固定；所述调整杆与设置在涂镀密闭空间外的把手固定，并沿滑道方向来回运动。

本发明的优点是：夹具在同一托盘上可放置多个，驱动托盘与档杆配合形成各个托盘的自转，同时转盘带动托盘公转，这样就解决了零件在腔体中往往只能涂镀一面，存在“阴阳”面的现象。

附图说明

图1为旋转体涂镀夹具示意图；

图2为调整装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图具体说明本发明，如图所示，一种旋转体涂镀夹具的使用说明，以内六角螺母为例的具体说明：

涂镀密闭空间中设置转盘1，所述转盘1与转轴2固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘1上设置多组托盘3，所述托盘的外缘均设置齿轮6，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮6超出转盘1的外侧边缘并与档杆5啮合，所述档杆5固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。

为便于同时加工多个工件，所述托盘的中心设置固定杆7，工件4穿套在所述固定杆7上。

为合理排列转盘的平面空间及保证托盘间的啮合，所述转盘上设置多个转动装置。

为调整公转一圈时托盘的自转角度，所述档杆5为多个，沿转盘的圆周排列；所述档杆5可以设置调整装置以保证沿转盘的径向进行调节，适应托盘不同角度的自转；