[发明专利]在固态加热设备中建立RF激励信号参数有效
申请号: | 201711133575.0 | 申请日: | 2017-11-15 |
公开(公告)号: | CN108076552B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 马敏洋;格列高利·J·杜尔南;杜瑞益 | 申请(专利权)人: | 恩智浦美国有限公司 |
主分类号: | H05B6/68 | 分类号: | H05B6/68 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 加热 设备 建立 rf 激励 信号 参数 | ||
1.一种在包括被配置成包含负载的腔的固态加热设备中建立射频RF激励信号参数的方法,其特征在于,所述方法包括:
将多个所述RF激励信号参数设定成参数值组合,其中所述多个RF激励信号参数包括至少一个激励信号频率和至少一个相移;
由所述加热设备将多个RF激励信号提供到紧接于所述腔的多个微波能量辐射器,其中所述多个RF激励信号具有根据所述参数值组合限定的信号特性;
在提供所述多个RF激励信号的同时,由所述加热设备的至少一个功率检测电路测量反射RF功率;
基于所述测量的反射RF功率确定反射功率指示;
存储所述反射功率指示以产生对应于所述参数值组合的已存储反射功率指示;
针对多个不同参数值组合多次重复所述设定、提供、测量、确定和存储过程以产生多个已存储反射功率指示,其中所述多个已存储反射功率指示中的每一个对应于不同RF信号参数值组合;
基于所述多个已存储反射功率指示识别可接受的RF信号参数值组合;以及
将所述可接受的RF信号参数值组合存储在所述加热设备的存储器中;
其中识别所述可接受的RF信号参数值组合包括:
将所述可接受的组合识别为对应于所述多个已存储反射功率指示中的指示最低反射功率或回波损耗或者下降到预定阈值以下的反射功率或回波损耗的任何一个的RF信号参数值组合;
所述加热设备包括各自被配置成产生N个RF激励信号中的一个的N个微波生成模块、各自通过N个传输线中的一个耦合到所述N个微波生成模块中的一个的输出端的N个微波能量辐射器,以及多个功率检测电路,其中N是大于一的整数;
测量所述反射功率包括所述多个功率检测电路中的每一个测量沿所述N个传输线中的一个的反射功率,从而产生多个反射功率测量;且
确定所述反射功率指示包括通过对所述多个反射功率测量应用数学函数来确定所述反射功率指示。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,确定所述反射功率指示包括确定选自以下各项的值:反射功率测量、多个反射功率测量的平均值、回波损耗测量,以及多个回波损耗测量的平均值。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
针对所述设定过程的第一迭代,设定所述多个RF激励信号参数包括将所有所述多个RF激励信号参数设定成默认值;且
所述重复过程包括:
选择所述多个RF激励信号参数中的一个,将针对所述一个RF激励信号参数检验多个参数值,
将所述多个RF激励信号参数中的所述选择的一个重复设定成不同值且进行所述提供、测量、确定和存储过程,而将所述多个RF激励信号参数中的未选择的那些设定成所述默认值,
确定所述多个RF激励信号参数中的所述选择的一个的对应于可接受的RF反射功率的可接受的值;
将所述多个RF激励信号参数中的所述选择的一个重新设定成所述可接受的值,以及
重复所述选择、重复设定和重新设定过程,直到已经选择并检验了所有所述RF激励信号参数为止。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
针对所述设定过程的第一迭代,设定所述多个RF激励信号参数包括将所有所述多个RF激励信号参数设定成默认值;且
所述重复过程包括:
选择所述多个RF激励信号参数中的一个,将针对所述一个RF激励信号参数检验多个参数值,
将所述多个RF激励信号参数中的所述选择的一个重复设定成不同值且进行所述提供、测量、确定和存储过程,而将所述多个RF激励信号参数中的未选择的那些设定成所述默认值,
将所述多个RF激励信号参数中的所述选择的一个重新设定成默认值,以及
重复所述选择、重复设定和重新设定过程,直到已经选择并检验了所有所述RF激励信号参数为止。
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