[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

本发明提供一种抑制了可靠性的降低的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头(记录头3)的特征在于，具备结构体(流道部件18)，该结构体通过对一个方向上的两侧的端面的位置一致的多个基板(喷嘴板23、流道板27以及振动板31)进行层压而形成，多个基板(喷嘴板23、流道板27以及振动板31)中的至少两个基板在一个方向上具有不同的线膨胀率，与多个基板(喷嘴板23、流道板27以及振动板31)中的所述一个方向上的线膨胀率最大的基板相比刚性较高的保持部件(36)，被固定在结构体(流道部件18)的一个方向上的两侧的端面上。

技术领域

本发明涉及一种具有通过将多个基板层压而形成的结构体的液体喷射头以及液体喷射装置。

背景技术

液体喷射头例如被用于喷墨式打印机、喷墨式绘图机等图像记录装置中，而最近还发挥能够使极少量的液体正确地喷落在预定位置这一特长而被应用于各种制造装置中。例如，被应用于如下装置中，即，制造液晶显示器等的彩色滤波器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器和FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置。而且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各种颜色材料的溶液。此外，通过电极形成装置用的电极材料喷射头而喷射液状的电极材料，通过芯片制造装置用的生物体有机物喷射头而喷射生物体有机物的溶液。

上述的液体喷射头通过将形成有喷射液体的喷嘴的喷嘴板、层压有压电元件等致动器的振动板、内部形成有液体流动的流道的流道部件等多个基板层压而成。关于这些基板的材质，考虑到制造(加工)的难易度、基板的特性、液体喷射头的目的以及用途等各种各样的因素，而从金属、硅等各种各样的材料中选择最合适的材料。因此，构成液体喷射头的基板全部采用相同的材料是不现实的，在构成液体喷射头的基板之间会产生因材质的不同而导致的热膨胀率(线膨胀率)的差。其结果为，存在如下的可能性，即，会产生因基板间的热膨胀率的差而引起的不良情况(例如，液体喷射头的翘曲等)。而且，公开有如下的喷墨头，即，为了抑制液体喷射头的翘曲，而在基板之间(头芯片与保持部件之间)，将粘合两者的粘合区域和未粘合两者的非粘合区域沿着喷嘴排列方向交替地配置(参照专利文献1)。

但是，在上述的专利文献1的结构中，由于容许保持部件的喷嘴排列方向上的伸展(膨胀)，因此在温度上升时，会由于该伸展而在头芯片与保持部件之间产生应力。而且，存在如下的可能性，即，该应力集中在头芯片与保持部件之间的粘合区域，从而导致在该区域中粘合剂剥落。其结果为，存在液体喷射头的可靠性降低的可能性。

专利文献1：国际公开2012/144598号

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而被完成的发明，其目的在于提供一种通过低成本的应对而抑制了可靠性的降低的液体喷射头以及液体喷射装置。

本发明的液体喷射头是为了实现上述目的而被提出的，其特征在于，具备结构体，所述结构体通过对一个方向上的两侧的端面的位置一致的多个基板进行层压而形成，所述多个基板中的至少两个基板在所述一个方向上具有不同的线膨胀率，与所述多个基板中的所述一个方向上的线膨胀率最大的基板相比刚性较高的保持部件，被固定在所述结构体的所述一个方向上的两侧的端面上。

根据本发明，即使结构体的温度上升，也能够通过保持部件来抑制基板在一个方向上伸展的情况。由此，能够降低在基板之间所产生的应力，并且能够抑制例如对基板之间进行粘合的粘合剂剥落的情况。其结果为，能够抑制液体喷射头的可靠性的降低。

此外，在上述结构中，优选为，所述保持部件具备凹部，所述结构体的所述端面被收纳在所述凹部内。