[发明专利]衍射光学元件和干涉测量方法有效
| 申请号： | 201711103826.0 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107816939B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | J.赫茨勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张邦帅;邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 干涉 测量方法 | ||
1.一种用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏差的方法，包含以下步骤：
-产生输入波；
-将衍射光学元件布置在所述输入波的光束路径中，使得通过与所述衍射光学元件的相互作用将所述输入波转换为至少测量波，所述测量波适配于所述光学表面的预期形状，并且在衍射光学元件处以Littrow反射从输入波产生参考波；
-将所述光学表面布置在适配的测量波的光束路径中，并且使用参考波作为参考通过干涉测量在与所述光学表面相互作用之后测量所适配的测量波的波前。
2.根据权利要求1的方法，
其中，所述输入波通过与所述衍射光学元件的相互作用还被转换为至少一个校准波。
3.根据权利要求1或2的方法，
其中，所述衍射光学元件包含复杂编码的位相光栅。
4.一种衍射光学元件，具有基板和布置在其上的衍射结构图案，其中，所述衍射结构图案构造为将辐射至其上的平面或球面输入波转换为至少非球面输出波，所述非球面输出波适配于要测量的光学表面的预期形状，所述衍射结构还构造为以Littrow反射从输入波产生参考波，所述参考波构造成用作参考，以通过干涉测量在与光学表面相互作用之后测量非球面输出波的波前。
5.如权利要求4所述的衍射光学元件，构造为将输出波还转换为平面波或球面波形式的至少一个校准波。
6.一种用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏差的干涉测量系统，包括：
-光源，用于产生输入波；
-衍射光学元件，布置在所述输入波的光束路径中，使得通过与所述衍射光学元件的相互作用将所述输入波转换为至少测量波，所述测量波适配于所述光学表面的预期形状，并且在衍射光学元件处以Littrow反射从输入波产生参考波；以及
-干涉仪，用于使用参考波作为参考在与所述光学表面相互作用之后测量所适配的测量波的波前。
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