[发明专利]尾气管道加热系统

说明书

技术领域

本发明实施例涉及半导体行业，尤其涉及一种尾气管道加热系统。

背景技术

半导体行业中尾气管道处理部分的高功率加热控制系统是一种可以替代水、导热油、蒸汽加热的高功率加热控制系统。目前管道加热现状，除水、蒸汽、导热油夹套加热外，高功率加热控制系统还是个空白，很多厂家生产流体产品的过程，在长距离管道输送中需要加热、保温等工艺，而水、蒸汽、导热油这些加热介质，必须配有锅炉、换热器，环保、效率、维护的问题时常困扰生产。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种尾气管道加热系统，解决了尾气的均匀控温问题，避开了水蒸汽、导热油等加热介质，该系统结构简单、成本低廉、寿命长、可靠性高，减少了需要维护的元件及时间，在工作环境恶劣的地方也能正常使用。

本发明实施例提供了一种尾气管道加热系统，包括：

加热带，沿待加热尾气管道设置；

加热电源线，所述加热电源线与控制开关的输入端电连接，所述控制开关的输出端与所述加热带电连接，所述控制开关的控制端与加热控制电路电连接；

所述加热控制电路，用于控制所述控制开关开启或关闭，以控制所述加热电源线与所述加热带导通或断开，所述加热带与所述加热电源线导通时，对所述待加热尾气管道进行加热。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：设置在所述待加热尾气管道内的温度传感器，与所述加热控制电路电连接，用于向所述加热控制电路反馈所述待加热尾气管道的温度。

可选的，所述加热控制电路设置在终端盒内，所述终端盒的表面设置有温度设定按钮和显示屏；

所述设定温度按钮与所述加热控制电路相连，用于输入设定的预设加热温度；

所述显示屏与所述加热控制电路相连，用于显示所述待加热尾气管道的温度。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：保温层，所述保温层包裹所述待加热尾气管道，所述加热带设置于所述保温层内。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：

电源接线盒，设置于所述保温层内，所述控制开关设置在所述电源接线盒内。

可选的，所述控制开关包括：固态继电器，和热继电器；

所述固态继电器第一输出端与所述加热带电连接，所述固态继电器的控制端与所述加热控制电路电连接，所述固态继电器的第二输出端通过所述热继电器与所述加热电源线电连接。

可选的，该尾气管道加热系统还包括：过滤盒，所述过滤盒设置在所述保温层内，且所述过滤盒的第一端与所述电源接线盒连接，所述过滤盒的第二端与所述终端盒连接，且所述过滤盒于所述加热带内，用于所述尾气进行过滤处理。

可选的，所述加热控制电路为温控器，所述温控器的输出端与所述固态继电器的控制端电连接，用于控制所述固态继电器的打开或者关闭，所述温控器的输入端与所述温度传感器电连接，用于感应所述尾气的温度。

可选的，所述温控器还包括：

启动加热自锁单元、停止加热自锁单元、加热自锁单元、报警自锁单元以及提示自锁单元；

所述启动加热自锁单元的输入端与所述温度传感器电连接，用于当所述待加热尾气管道的温度小于所述预定加热温度时，控制所述加热自锁单元接通，同时控制所述提示自锁单元接通并提示加热，所述加热自锁单元的输入端与所述启动加热自锁单元的输出端电连接，所述提示自锁单元与所述启动加热自锁单元的输出端电连接；

所述加热自锁单元的输出端与所述控制开关电连接，当所述加热自锁单元接通时，控制所述控制开关开启；

所述停止加热自锁单元的输入端与所述温度传感器电连接，用于当所述待加热尾气管道的温度大于所述定加热温度时，控制所述加热自锁单元断开，并控制所述报警自锁单元接通，同时控制所述提示自锁单元接通并提示停止加热，所述加热自锁单元的输入端与所述停止加热自锁单元的输出端电连接，所述报警自锁单元与所述停止加热自锁单元的输出端电连接，所述提示自锁单元与所述停止加热自锁单元的输出端电连接；

所述加热自锁单元的输出端与所述控制开关电连接，当所述加热自锁单元断开时，控制所述控制开关关闭。