[发明专利]气体取样器及包括其的气体泄漏检测装置

说明书

本发明公开如下的气体取样器和气体泄漏检测装置，即，上述气体取样器包括：多个空气捕集管，向对检测对象气体是否泄漏进行检测的检测位置延伸来捕集空气；空气流入管，形成有多个，一端分别与多个空气捕集管相连接；流入流量计，设置于各个空气流入管；主管，与多个空气流入管相连接；主流量计，与主管相结合；真空泵，与主管相连接；空气供给管，一端与多个空气流入管相连接；旁通管，包括分支旁通管及合并旁通管，上述分支旁通管的数量与空气流入管的数量相对应，上述分支旁通管的一端分别与多个空气供给管相连接，合并旁通管的一端与分支旁通管相连接，另一端与真空泵相连接；以及旁通流量计，与合并旁通管相结合。

技术领域

本发明涉及设置于半导体生产线或平板显示器生产线，并在多个位置对空气进行取样来向气体测量模块供给的气体取样器及包括其的气体泄漏检测装置。

背景技术

在半导体生产线中普遍使用对人体有害的气体等化学药品，因而即使泄漏少量气体，也会对人体产生致命危害。最近，在半导体生产线或石油化学药品生产线等如气体泄漏则可预料造成严重损失的生产线中，为了实时在存在气体泄漏隐患的场所中对是否泄漏气体而设置气体泄漏检测装置。

在生产线中的需要检测气体泄漏的区域宽广的情况下，需要设置的泄漏检测装置的数量会增加，从而导致成本的增加。因此，为使气体泄漏检测装置的数量最小化，开发了如下方法，即，使用于对检测对象气体进行的捕集的多个空气捕集管从气体泄漏检测装置延伸至气体是否泄漏检测位置。但是，在这种方法中，在空气捕集管的长度变长的情况下，气体泄漏检测装置难以顺畅地捕集空气，从而难以准确检测是否存在气体泄漏。

发明内容

本发明的目的在于，提供因流量计数量的减少而呈简单的结构，并按均匀的流量向气体测量模块供给在检测气体泄漏的检测位置捕集的空气的气体取样器及包括其的气体泄漏检测装置。

本发明的气体取样器的特征在于，包括：多个空气捕集管，向对检测对象气体是否泄漏进行检测的检测位置延伸来捕集空气；空气流入管，形成有多个，一端分别与上述多个空气捕集管相连接，用于使空气从上述多个空气捕集管流入；流入流量计，设置于各个上述空气流入管，用于对在上述空气流入管流动的空气的流量进行调节；主管，与多个上述空气流入管相连接，用于使从多个上述空气流入管供给的空气流动；主流量计，与上述主管相结合，用于对在上述主管流动的空气的流量进行调节；真空泵，与上述主管相连接，用于提供在上述空气捕集管捕集空气时所需要的吸引力；空气供给管，一端与多个上述空气流入管相连接，用于向气体测量模块供给空气；旁通管，包括分支旁通管及合并旁通管，上述分支旁通管的数量与上述空气流入管的数量相对应，上述分支旁通管的一端分别与多个上述空气供给管相连接，上述合并旁通管的一端与上述分支旁通管相连接，另一端与上述真空泵相连接；以及旁通流量计，与上述合并旁通管相结合，用于对在上述合并旁通管流动的空气进行控制。

本发明的气体泄漏检测装置的特征在于，包括：上述气体取样器；以及气体测量模块，用于对在从上述气体取样器供给的空气中是否包含检测对象气体进行检测。

本发明的气体取样器和包括其的气体泄漏检测装置具有如下效果，即，并非在分别与多个空气流入管连接的各个分支旁通管设置旁通流量计，而是在合并旁通管设置旁通流量计，因此，减少旁通流量计的数量，并使配管连接结构变得简单。

本发明的气体取样器和包括其的气体泄漏检测装置具有如下效果，即，通过设置于各个空气流入管的流入流量计直接调节向空气流入管流入的空气流量，因此，与通过旁通流量计进行调节的情况相比，可更加简单地调节空气流量。

本发明的气体取样器和包括其的气体泄漏检测装置具有如下效果，即，通过在多个检测位置实时捕集空气来按均匀的流量向气体测量模块供给，从而可迅速确认检测对象气体是否泄漏。

并且，本发明的气体取样器和气体泄漏检测装置具有如下效果，即，即使空气捕集管的长度根据捕集空气的检测位置而不同，也可向气体测量模块供给均匀流量的空气。