[发明专利]高精密蓝宝石双面高压抛光机

说明书

高精密蓝宝石双面高压抛光机，包括箱体、主传动装置、齿圈升降装置、太阳轮调节装置、上盘装置、气囊加压装置、上盘摆动及定位装置；所述主传动装置安装在箱体内，所述主传动装置与太阳轮调节装置相连接，所述太阳轮调节装置通过齿圈与齿圈升降装置相连接，所述上盘装置通过旋转主轴与箱体上的凸台相连接，所述气囊加压装置和上盘摆动及定位装置设在上盘装置上。本发明具有可以提高蓝宝石材料抛光效率和抛光压力，且能精确控制抛光压力等优点。

技术领域

本发明涉及一种高精密蓝宝石双面高压抛光机。

背景技术

蓝宝石的主要成分为三氧化二铝，具有高硬度、耐高温、抗腐蚀等特点，是一种用途广泛的光电元件材料。随着光电信息技术的迅速发展，对蓝宝石材料的产量和质量需求进一步提高，而在蓝宝石的加工过程中，关键技术是在对其表面的抛光打磨处理上。传统的蓝宝石材料抛光工艺中，存在以下缺点：

一、抛光压力较小且控制不精确；

二、抛光液在抛光盘上随机分布，其分布密度不均，造成工件抛光厚度不均，精度不易控制；

三、抛光速率和压力限制，加工效率低，不能真正满足蓝宝石材料的抛光工艺的要求。

因此，研制具有高效率，精确控制抛光压力实现双面同时抛光的蓝宝石抛光机成为急需解决的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有蓝宝石材料抛光技术的不足，提出一种高精密蓝宝石双面高压抛光机，其上盘采用独立电机驱动，实现与下盘、齿圈及太阳轮之间的速比差异，满足不同产品多种加工工艺要求，传动主体部分用同步带传动，能够实现施压恒定、抛光质量稳定，有效提高蓝宝石材料抛光效率和抛光压力，且能精确控制抛光压力。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：高精密蓝宝石双面高压抛光机，包括箱体、主传动装置、齿圈升降装置、太阳轮调节装置、上盘装置、气囊加压装置、上盘摆动及定位装置；所述主传动装置安装在箱体内，所述主传动装置与太阳轮调节装置相连接，所述太阳轮调节装置通过齿圈与齿圈升降装置相连接，所述上盘装置通过旋转主轴与箱体上的凸台相连接，所述气囊加压装置和上盘摆动及定位装置设在上盘装置上。

进一步，所述主传动装置包括轴承座、托盘、下盘法兰、下抛光盘、托盘轴带轮、太阳轮轴带轮、托盘轴和太阳轮轴，所述下抛光盘固定在下盘法兰上，所述下盘法兰与托盘固连，所述托盘置于轴承座正上方，与托盘轴固连，所述托盘轴带轮与托盘轴下端相连，所述太阳轮轴带轮与太阳轮轴下端相连，所述太阳轮轴设在托盘轴中。所述托盘轴带轮和太阳轮轴带轮均通过同步带轮驱动，传动比准确，传动效率高，传动噪声小，耐冲击性能较好，不需润滑，维修经济方便。

进一步，所述齿圈升降装置包括左升降装置和右升降装置；所述左升降装置包括抬升气囊、抬升摆杆、升降主轴和齿圈支撑座，所述抬升气囊与抬升摆杆相连接，所述升降主轴的上端与齿圈支撑座相连接，所述升降主轴的下端与抬升摆杆相接触；所述右升降装置的结构同左升降装置，所述右升降装置与左升降装置对称布置，且右升降装置的抬升摆杆与左升降装置的抬升摆杆通过同步杆相连接。

进一步，所述太阳轮调节装置，包括连接螺杆座、连接螺杆、太阳轮、支撑盖、太阳轮座、太阳轮座键、调整螺母和太阳轮盖板；所述连接螺杆座固定在支撑盖上，所述连接螺杆座上端设有凹槽，所述调整螺母安装在凹槽内，所述连接螺杆座和调整螺母均设有带螺纹的内孔，一同与带外螺纹的连接螺杆螺纹连接；所述太阳轮座下端开有一键槽，所述太阳轮座键固定在太阳轮座的键槽内，所述太阳轮座上端套于连接螺杆顶部，所述太阳轮座下端套于连接螺杆座外缘，所述连接螺杆座开有一竖直键槽，与太阳轮座的键槽竖直对应；所述太阳轮座与太阳轮连接，所述太阳轮盖板设在连接螺杆、太阳轮座、太阳轮上。