[发明专利]一种可移动式侧加热器的G7炉

说明书

技术领域

本发明涉及光伏制造领域，特别是涉及一种可移动式侧加热器的G7炉。

背景技术

太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。其中，用于制造多晶硅锭的多晶铸锭炉备受人们的关注。多晶铸锭炉大多采用定向凝固法生长硅晶体，其原理是：将一定纯度的多晶硅原料放置在石英陶瓷坩埚中，经特定的热场结构系统，加热至完全熔化；然后打开隔热笼从坩埚的底部开始冷却，硅溶液在坩埚底部开始结晶，逐渐向上生长；完成生长过程后，通常会将隔热笼重新闭合，并将多晶铸锭保温一段时间退火后冷却。

现有多晶硅铸锭技术分为全融和半融技术，其在加热融化时对轴向的温度梯度要求相反，使同一种热场不能兼顾这两种工艺。随着G7多晶硅铸锭投炉量的不断增加，大锭的高度不断增加，固定位置的侧加热器不能从长晶开始到长晶结束全部对固液生长界面形成热量支撑。

发明内容

本发明针对上述技术问题，克服现有技术的缺点，提供一种可移动式侧加热器的G7炉，针对半融和全融工艺特点，以及G7的大投料量，设计成可移动式侧加热器热场结构。

为了解决以上技术问题，本发明提供一种可移动式侧加热器的G7炉，包括坩埚、顶加热器、侧加热器，还包括炉体、保温系统、承载冷却系统、石墨电极、侧石墨吊臂、铜电极一和铜电极二，保温系统设于炉体内且包括构成保温空腔的上保温模块、侧保温模块和底保温模块，坩埚设于保温空腔内，承载冷却系统设于坩埚底部且包括承载台及冷却块，炉体顶部位于其中心轴两侧分别设有不对称的通孔一和通孔二，上保温模块位上设有通孔三和通孔四，通孔一和通孔三、通孔二和通孔四分别两两分布于同一竖直方向，铜电极一固定于通孔一内并伸入通孔三与顶加热器固定，铜电极二穿过通孔二，石墨电极穿过通孔四并固定于铜电极二底部，侧石墨吊臂固定于石墨电极底部，侧加热器固定于侧石墨吊臂底部，铜电极二、石墨电极和侧石墨吊臂位于同一竖直方向，通孔二内设有升降丝杆将铜电极二与炉体可升降固定。

技术效果：本发明设计的结构不同于传统的侧加热器固定的热场结构，其侧加热器并不通过石墨电极和铜电极固定在炉体上，而是设计成可移动式侧加热器热场结构，可兼容半融和全融工艺的G7热场，大大增加了工艺灵活性。

本发明进一步限定的技术方案是：

进一步的，石墨电极与上保温模块、铜电极二与炉体之间分别留有单边间隙。

前所述的一种可移动式侧加热器的G7炉，通孔二和通孔四内设有氧化铝电绝缘板。

前所述的一种可移动式侧加热器的G7炉，氧化铝电绝缘板与石墨电极、铜电极二的单边距离大于5mm。

前所述的一种可移动式侧加热器的G7炉，升降丝杆与铜电极一之间设有波纹管。

本发明的有益效果是：

（1）本发明中波纹管起到密封作用，可以在铜电极二移动时保持炉体气密性；

（2）本发明设计的热场结构适用于大投料量，从而增加了炉台的产能，降低了成本。

附图说明

图1为本实施例的结构示意图；

其中：1、坩埚；2、顶加热器；3、侧加热器；4、炉体；4a、通孔一；4b、通孔二；5、上保温模块；5a、通孔三；5b、通孔四；6、侧保温模块；7、底保温模块；8、承载台及冷却块；9、石墨电极；10、侧石墨吊臂；11、铜电极一；12、铜电极二；13、升降丝杆；14、波纹管。

具体实施方式

本实施例提供的一种可移动式侧加热器的G7炉，结构如图1所示，包括坩埚1、顶加热器2、侧加热器3，还包括炉体4、保温系统、承载冷却系统、石墨电极9、侧石墨吊臂10、铜电极一11和铜电极二12。

保温系统设于炉体4内且包括构成保温空腔的上保温模块5、侧保温模块6和底保温模块7。坩埚1设于保温空腔内，承载冷却系统设于坩埚1底部且包括承载台及冷却块8。