[发明专利]一种超声波时间差无损检测真空管真空度的方法

权利要求书

1.一种超声波时间差无损检测真空管真空度的方法，包括以下步骤：

(1)将超声波发射探头放在真空管的上方，超声波接收探头放在真空管的下方；

(2)测量开始时，首先由控制器发出测量指令，使脉冲发生器发出测量脉冲，经过功率放大器放大后送到超声波发射探头；

(3)超声波在经过真空管时，产生衰减，其衰减程度与真空管内的真空度有关，当真空管内真空良好时，超声波不能穿过真空层，超声波接收探头不能接收到超生波；当真空管内真空下降，超声波在经过真空管时其传播速度发生改变，通过时间是真空度的函数，真空度越低，超声波经过的时间越长，反之越短，过测量超声波通过真空管的时间来确定真空灭弧室内的真空度；

(4)超声波接收探头将接收到的超声波通过功率放大器放大，再经比较器选出适合控制器的信号电平，控制器根据发出脉冲与接收脉冲的时间差计算出真空管内的真空度，并显示出来；

(5)由于环境温度的变化，使仪器的测量精度降低，故增加了环境温度检测，仪器根据环境温度的高低修正计算结果。