[发明专利]酸性蚀刻液再生处理系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，包括：电解再生装置、吸收再生装置、水吸收装置、碱液吸收装置和氧化剂调配装置；

所述电解再生装置，分别与蚀刻产线以及所述吸收再生装置连接，并与所述蚀刻产线形成闭路循环结构，所述电解再生装置用于电解再生所述蚀刻产线排出的蚀刻废液；

所述吸收再生装置，还分别与所述蚀刻产线和所述水吸收装置连接，并与所述蚀刻产线形成闭路循环结构，所述吸收再生装置用于恢复所述蚀刻废液的蚀刻能力，所述水吸收装置用于回收所述吸收再生装置中的盐酸以及产生稀盐酸溶液；

其中，所述吸收再生装置包括：至少2个第一射流器、至少2个第一循环泵、第二抽风管、射流吸收缸以及检测装置；

所述第一射流器的进气口与所述第一抽风管的排气口连接，所述第一射流器的进水口与所述射流吸收缸的底部连接，所述第一射流器的出水口与所述射流吸收缸的顶部连接；

所述第一循环泵与所述第一射流器连接，为所述第一射流器提供动力；

所述射流吸收缸通过所述第二抽风管与所述水吸收装置连接；

所述检测装置包括氧化还原电位监测仪、酸度计、比重计；

所述检测装置设置在所述射流吸收缸内，用于检测所述射流吸收缸内的溶液并给出参数值；

所述水吸收装置，还分别与所述碱液吸收装置和所述氧化剂调制装置连接；

所述碱液吸收装置，还与所述氧化剂调配装置连接，所述碱液吸收装置用于产生次氯酸盐溶液，所述氧化剂调配装置用于混合所述碱液吸收装置产生的次氯酸盐溶液及所述水吸收装置产生的稀盐酸溶液，产生氧化剂；

所述氧化剂调配装置，还与所述蚀刻产线连接，将生成的氧化剂排到所述蚀刻产线。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，所述电解再生装置包括：阳极室、阴极室、直流电源、循环缸以及第一抽风管；

所述阳极室与所述阴极室构成双室膜电解槽；

所述阳极室内设置有阳极板，所述阴极室内设置有阴极板，所述阳极板和所述阴极板分别与所述直流电源连接；

所述阳极室与所述蚀刻产线连接，并形成闭路循环结构，所述阳极室还通过所述第一抽风管与所述吸收再生装置连接；

所述阴极室与所述循环缸连接，并形成闭路循环结构；

所述循环缸与所述蚀刻产线连接，所述循环缸还与所述阳极室连接。

3.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，所述电解再生装置还包括：铜粉回收装置；

所述铜粉回收装置与所述阴极室相连，并形成闭路循环结构，用于回收蚀刻过程中增加的铜。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，所述水吸收装置包括：至少2个第二射流器、至少2个第二循环泵、第三抽风管、第一排液管以及水吸收缸；

所述第二射流器的进气口与所述第二抽风管的排气口连接，所述第二射流器的进水口与所述水吸收缸的底部连接，所述第二射流器的出水口与所述水吸收缸的顶部连接；

所述第二循环泵与所述第二射流器连接，为所述第二射流器提供动力；

所述水吸收缸通过所述第三抽风管与所述碱液吸收装置连接；

所述水吸收缸通过所述第一排液管与所述氧化剂调配装置连接。

5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，所述碱液吸收装置包括：喷淋吸收塔、碱液冷却循环缸和第二排液管；

所述喷淋吸收塔内设置有酸碱度检测计和温度计；

所述喷淋吸收塔与所述碱液冷却循环缸连接，并形成闭路循环结构；

所述碱液循环缸通过所述第二排液管与所述氧化剂调配装置连接。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液再生处理系统，其特征在于，所述氧化剂调配装置包括酸碱度检测计及搅拌器。

7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述吸收再生装置中的氧化还原电位为480～580毫伏。