[发明专利]一种裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置

权利要求书

1.一种裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置，其特征在于，所述的等离子体射流发生装置包括高压电源(5)、工作气源(6)、气体减压阀(7)、气体质量流量控制器(8)、等离子体发生器(1)和绝缘套管(4)；

高压电源(5)的高压输出接等离子体发生器(1)的高压针电极(2)，低压输出接等离子体发生器(1)的喷嘴电极，高压电源(5)地线接地；工作气源(6)经气体减压阀(7)调整压力后，接气体质量流量控制(8)入口，通过调整气体质量流量控制器(8)参数，对气体流量进行调节；气体质量流量控制器(8)出口接等离子体发生器(1)壳体尾部；等离子体发生器(1)的壳体正中设有中心孔，中心孔的孔径与高压针电极(2)外径相同，用以固定高压针电极(2)，高压针电极(2)前端套有绝缘套管(4)；中心孔的周围均布小通孔，以将工作气体运输至等离子体发生区域；等离子体发生器(1)的壳体前端攻有螺纹，连接喷嘴电极；喷嘴电极为锥台状，尾部与壳体前端连接，顶部有一圆形通孔，当放电形式为裸电极放电时，冷等离子体射流从此处射出；当绝缘套管(4)套在高压针电极(2)尖端外、喷嘴电极内时，放电形式为介质阻挡放电，冷等离子体射流由绝缘套管内喷出。

2.根据权利要求1所述的裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置，其特征在于，所述的高压电源是直流高压电源、低频高压电源、射频高压电源、微波高压电源或脉冲高压电源。