[发明专利]液浸构件及曝光装置

权利要求书

1.一种液浸构件，是以从光学构件的射出面射出的曝光用光的光路被液体充满的方式，在能于该光学构件下方移动的物体上形成液浸空间，具备：

第1构件，配置在该光学构件周围的至少一部分，具有第1面；

第2构件，能相对于该第1构件移动，具有与该第1面对向的第2面及回收该液浸空间的液体的至少一部分的回收口；

供气口，配置在该第1面及该第2面中的至少一方、将气体供应至该第1面与该第2面的间隙；以及

排气口，配置在该第1面及该第2面中的至少一方、排出该间隙的气体的至少一部分。

2.如权利要求1所述的液浸构件，其中，借由自该供气口的气体供应及自该排气口的气体排出，在该间隙形成气体轴承。

3.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第2构件能与和该光学构件的光轴垂直的面平行的移动。

4.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第2构件能在该第1构件与该物体之间移动。

5.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第2构件，是在该第2构件与该物体之间的空间中至少一部分存在该液体的状态下，与该物体的移动的至少一部分并行移动。

6.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第2构件能一边从该回收口回收该液体、一边移动。

7.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该回收口被配置成该物体与之对向。

8.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第1构件不移动。

9.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第2构件被支承为可移动。

10.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第1面垂直于该光学构件的光轴；

该第2构件沿该第1面移动。

11.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第1构件进一步具有配置在从该射出面射出的该曝光用光可通过的开口周围、能在该第1构件与该物体之间保持该液体的下面；以及

该第1面是在该下面周围、配置在较该下面上方之处。

12.如权利要求11所述的液浸构件，其中，该第2构件进一步具有该物体可对向的下面；以及

该第2构件的下面配置在较该第1构件的下面上方之处。

13.如权利要求1所述的液浸构件，其中，该第1构件是隔着间隙配置在该光学构件周围。

14.如权利要求1所述的液浸构件，其进一步具有供应用以形成该液浸空间的液体的供应口。

15.如权利要求14所述的液浸构件，其中，该供应口是配置于该第1构件。

16.一种液浸构件，是以从光学构件的射出面射出的曝光用光的光路被液体充满的方式，在能于该光学构件下方移动的物体上形成液浸空间，具备：

第1构件，配置在该光学构件周围的至少一部分，具有第1面；以及

第2构件，能相对于该第1构件移动，具有与该第1面对向的第2面及回收该液浸空间的液体的至少一部分的回收口；

在该第1面与该第2面间的间隙形成气体轴承。

17.如权利要求16所述的液浸构件，其中，该第2构件能与和该光学构件的光轴垂直的面平行的移动。

18.如权利要求16所述的液浸构件，其中，该第2构件能在该第1构件与该物体之间移动。