[发明专利]基于膜分离原理的含氟废气回收处理系统

权利要求书

1.一种采用膜分离处理含氟废气的方法，其特征在于含氟废气经预处理后，在压力0.2~1.0MPa，温度<60℃的条件，分离出含少量氟产品的渗透气和浓缩了含高浓度产品的截留气，其中渗透气部分经过RTO装置焚烧处理，截留气则进入低温精馏回收装置，回收氟产品。所述含氟废气包含氟产品20%~80%。

2.按照权利要求1的方法，其特征在于膜分离的条件为：压力0.4~0.9MPa，温度<60℃。

3.按照权利要求1的方法，其特征在于含氟废气的预处理包括除尘、脱水，预处理后的含氟废气微尘含量≤ 0.01mg/Nm3，要求残余含量小于0.01 mg/m3，H2O ≤ 1ppm。

4.按照权利要求1的方法，其特征在于所述膜分离器由一个或多个平板式、卷式或中控纤维式膜组件构成，其中膜材料包括高分子材料、无机材料、金属材料的一种或几种材料的复合，优选高分子与金属材料的复合。

5.按照权利要求4的方案，其特征在于所述高分子材料选自聚二甲基硅氧烷、聚砜、聚芳酰胺、醋酸纤维素、乙基纤维素、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚苯醚、硅橡胶膜中的一种或几种。

6.按照权利要求4和5的方案，其特征在于所述膜分离器采用一级流程、二级流程或多级流程。

7.按照权利要求1的方法，其特征在于所述渗透气中氮气浓度高于95%体积，含氟物浓度总量5%体积。

8.按照权利要求1的方案，其特征在于送入焚烧装置的渗透气与进入低温回收装置的截留气之间的比为0.8~9.2。