[发明专利]一种硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜在审
申请号: | 201710963992.1 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN109666891A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 马晓伟 | 申请(专利权)人: | 马晓伟 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硬质合金 复合膜 硬质合金表面 材料表面性能 材料表面硬度 抗高温氧化性 制备高性能 耐磨性 热处理 表面化学 改善材料 合金部件 耐磨性能 重要手段 合金靶 耐磨 单质 抗弯 耐蚀 制备 生产工艺 磨损 应用 | ||
1.一种硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜的制备原料包括:Ti63-Al32-Zr5(at%)合金靶和1个Cr单质靶,WC-8Co硬质合金。
2.根据权利要求1所述的硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜,其特征是硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜的制备步骤为:将原料按实验设计方案称重、配料,配好后进行打磨、抛光,然后进行超声波清洗,将加工过的试样进行真空干燥,干燥时间为40min,干燥温度为50℃,然后加入真空炉中制备梯度膜,沉积偏压仍为–150V,沉积时间为30min。
3.根据权利要求1所述的硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜,其特征是硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜的检测步骤为:质量采用FA2104电子天平测定,微观形貌采用JOEL7001F场发射扫描电镜观察,抗弯强度测试采用INS186电子万能试验机,物相结构采用XPert衍射仪分析,抗压强度采用CDT305压机。
4.根据权利要求1所述的硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜,其特征是所述的硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜,其在900℃时具有良好的抗高温氧化性;而(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜的抗高温氧化温度仅为600℃,所述的硬质合金表面的Ti-Al-Zr-Cr-N系复合膜,在长时间的高温氧化环境中仍然能够保持良好的抗高温循环氧化性,其抗高温氧化性能远高于单层膜。
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