[发明专利]一种提纯锭芯的分档方法

说明书

本发明公开了一种提纯锭芯的分档方法，包括以下步骤：测试提纯锭芯上某两处的电阻率，获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率，并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值；针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值，查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别，其中提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。本发明分档方法能够把复杂的计算和测试过程简单化，能够科学系统、简单有效对提纯锭芯进行分档，具有简易、准确等优点，以本发明方法对提纯锭芯进行分档，对铸锭过程中磷含量的控制具有非常大的意义。

技术领域

本发明属于晶硅铸锭领域，涉及一种提纯锭芯的分档方法，具体涉及一种基于磷含量的提纯锭芯分档方法。

背景技术

多晶硅锭生产过程中，往往会用到提纯锭芯作为部分原料，其中提纯锭芯所占用量比例为20％～40％。提纯锭芯主要是由铸锭循环料、不良硅料等较差的硅料铸锭得来。由于现有方法生产的多晶硅原料不可避免的会含有磷杂质，特别地现在主流的西门子法也存在此类问题，因而提纯锭芯中通常含有较高浓度的磷。磷在硅锭中作为一种施主杂质，会直接改变硅锭的电学性能，甚至改变硅锭的P/N型，对硅锭质量造成巨大的影响。另外，由于铸锭工艺，导致无法准确的把控提纯锭芯中的磷硼杂质含量，将这些提纯锭芯作为正常硅锭的原料时，会导致硅锭的电阻率波动，从而影响产品质量甚至导致产品报废。然而，现有技术中由于没有科学系统的分析方法和计算方法，无法有效、准确获得提纯锭芯中施主受主(即磷和硼)杂质的含量，同时也无法科学系统、简单有效对提纯锭芯进行分档。因此，如何获得一种简易、准确的提纯锭芯分档方法对多晶铸锭过程中磷含量的准确、有效控制具有非常大的意义。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种简易、准确的提纯锭芯的分档方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种提纯锭芯的分档方法，包括以下步骤：

S1、测试提纯锭芯上某两处的电阻率，获取提纯锭芯的底部电阻率和顶部电阻率，并计算底部电阻率和顶部电阻率之间的差值得到提纯锭芯的底顶部电阻率差值；

S2、针对获得的底部电阻率、底顶部电阻率差值，查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别；所述提纯锭芯分档数据表包含底部电阻率、底顶部电阻率差值两者及其对应的分档级别之间的映射关系。

上述的分档方法中，进一步改进的，步骤S2中，查询预设的提纯锭芯分档数据表获取被测试提纯锭芯的分档级别，具体步骤包括：

S2-1、根据步骤S1中获得的底部电阻率，查询预设的提纯锭芯分档数据表，确定步骤S1中获得的底部电阻率对应的底部电阻率值区间M；

S2-2、根据步骤S1中获得的底顶部电阻率差值，查询预设的提纯锭芯分档数据表，确定步骤S1中获得的底顶部电阻率差值对应的底顶部电阻率差值区间N；

S2-3、根据底部电阻率差值区间M、底顶部电阻率差值区间N，查询预设的提纯锭芯分档数据表，获取被测试提纯锭芯的分档级别TC。

上述的分档方法中，更进一步改进的，所述提纯锭芯分档数据表中，将底部电阻率划分为8个底部电阻率值区间，分别为：M10.8、0.8≤M2＜1、1≤M3＜1.3、1.3≤M4＜1.6、1.6≤M5＜1.9、1.9≤M6＜2.2、2.2≤M7＜2.5、2.5≤M8；

所述底部电阻率值区间为M1时，对应的底顶部电阻率差值划分为5个底顶部电阻率差值区间，分别为：N11-0.1、-0.1≤N12＜0.05、0.05≤N13＜0.12、0.12≤N14≤0.2、0.2＜N15，其中所述底顶部电阻率差值区间N11、N12、N13、N14、N15对应的提纯锭芯的分档级别分别为TC6、TC5、TC4、TC3、TC2；