[发明专利]一种基于气浮平台的位移传感器校准装置在审
| 申请号： | 201710942893.5 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN107514986A | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘学明;罗钧;张平;陈建端;柳政;李明虹;牛增 | 申请（专利权）人： | 重庆建设工业（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)50223 | 代理人： | 王玉芝 |
| 地址： | 400054 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平台 位移 传感器 校准 装置 | ||
1.一种基于气浮平台的位移传感器校准装置，其特征在于：包括大理石平台、安装在所述大理石平台上的气浮直线平台；在所述气浮直线平台上设有由光栅尺和直线电机组成的闭环高精度控制系统，所述光栅尺沿气浮直线平台长度方向固定在气浮直线平台上；沿所述气浮直线平台长度方向依次设有位于同一轴线的激光干涉仪、分光镜、反光镜和位移传感器；所述反光镜安装在一气浮滑块上，该气浮滑块可滑动地设置在所述气浮直线平台上，其与所述直线电机相连，在直线电机的驱动下沿气浮直线平台相对滑动和锁定。
2.根据权利要求1所述的基于气浮平台的位移传感器校准装置，其特征在于：还包括干涉仪调整台和位移传感器调整台；所述激光干涉仪和分光镜固定安装在干涉仪调整台上，该干涉仪调整台安装在所述气浮直线平台一端；所述位移传感器固定安装在位移传感器调整台上，该位移传感器调整台安装在所述气浮直线平台另一端。
3.根据权利要求1所述的基于气浮平台的位移传感器校准装置，其特征在于：所述气浮直线平台两个端部还设有限位开关，所述限位开关与所述直线电机相连。
4.根据权利要求1所述的基于气浮平台的位移传感器校准装置，其特征在于：所述激光干涉仪的校准光轴和被校准的位移传感器的测量轴线位于同一轴线。
5.根据权利要求1所述基于气浮平台的位移传感器校准装置，其特征在于：所述基于气浮平台的位移传感器校准装置的校准量程为0-1000mm。
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