[发明专利]一种石墨炉电热蒸发进样装置离子源及其等离子体质谱仪在审

专利信息
申请号: 201710939274.0 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN107591310A 公开(公告)日: 2018-01-16
发明(设计)人: 田禾;宋雅东;樊后鸿 申请(专利权)人: 北京普析通用仪器有限责任公司
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04
代理公司: 北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11485 代理人: 霍金虎
地址: 101200*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 电热 蒸发 装置 离子源 及其 等离子体 质谱仪
【权利要求书】:

1.一种石墨炉电热蒸发进样装置离子源,包括:气缸组(11)、下水冷电极组(13)、下石墨锥组(14)、上石墨锥组(15)、石墨管(16)、上水冷电极组(17)、转接弯头组(18)、支撑架组(19)、炬管组(20)、负载线圈(21)、紧固螺钉(24)、炬管组密封圈(25)、中心管密封圈(26)和中心管(27),其特征在于,所述气缸组(11)设置在支撑架组(19)的一侧,下水冷电极组(13)固定在气缸组(11)的气缸组活塞杆(111)的上端,下水冷电极组(13)的上端设有下石墨锥组(14),石墨管(16)设置在下石墨锥组(14)内,上水冷电极组(17)由紧固螺钉(24)固定在支撑架组(19)上部的一侧,上石墨锥组(15)安装在上水冷电极组(17)内的下侧,转接弯头组(18)的一端与上水冷电极组(17)内的上石墨锥组(15)相连通,转接弯头组(18)的另一端与炬管组(20)相连通,炬管组(20)的前端外部设有上负载线圈(21),炬管组(20)上设有炬管组等离子气入口(201),转接弯头组(18)的另一端连接有中心管(27),中心管(27)和转接弯头组(18)之间设有中心管密封圈(26),炬管组(20)和转接弯头组(18)之间设有炬管组密封圈(25),炬管组(20)上设有炬管组辅助气入口(202),真空接口装置(3)设置在炬管组(20)的前部,真空接口装置(3)内设有真空接口装置的采样锥入口(301)。

2.根据权利要求1所述的石墨炉电热蒸发进样装置离子源,其特征在于,还包括屏蔽罩(12),屏蔽罩(12)设置在炬管组(20)的外部。

3.根据权利要求2所述的石墨炉电热蒸发进样装置离子源,其特征在于,所述石墨管(16)内设有平台(40)。

4.根据权利要求3所述的石墨炉电热蒸发进样装置离子源,其特征在于,所述石墨管(16)内的平台(40)由表面热解石墨或全热解石墨材料制成;或者由钨、钽耐高温、耐腐蚀金属材料制成;或者由陶瓷、石英玻璃非金属材料制成。

5.根据权利要求4所述的石墨炉电热蒸发进样装置离子源,其特征在于,石墨管(16)的总长为10~100mm,内径为2~12mm。

6.一种利用权利要求1、2、3、4或5所述石墨炉电热蒸发进样装置离子源的电感耦合等离子体质谱仪,其特征在于,包括:石墨炉电热蒸发进样装置离子源(1)、射频发生器(2)、真空接口装置(3)、质谱仪(4)和计算机系统(5),所述的石墨炉电热蒸发进样装置离子源(1)与射频发生器(2)相互连接,射频发生器(2)与真空接口装置(3)相互连接,真空接口装置(3)与质谱仪(4)相互连接,计算机系统(5)分别与石墨炉电热蒸发进样装置离子源(1)、射频发生器(2)、真空接口装置(3)和质谱仪(4)相连接。

7.根据权利要求6所述的的电感耦合等离子体质谱仪,其特征在于,所述射频发生器(2)的频率是27.12MHz或40.68MHz。

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