[发明专利]压电元件及电子设备有效
申请号: | 201710885766.6 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN107887501B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 大桥幸司;小岛力 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H10N30/80 | 分类号: | H10N30/80;H10N30/50;H10N30/87;B41J2/14;B41J2/01;A61B8/00;A61B8/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 元件 电子设备 | ||
1.一种压电元件,其特征在于,具备:
压电元件主体,由第一电极层、压电体层及第二电极层依次层叠而成;以及
金属层,隔着绝缘层而设于所述第二电极层,
所述压电体层具有延伸设置部,在从所述第一电极层、所述压电体层和所述第二电极层的层叠方向观察的俯视观察下,所述延伸设置部从所述压电元件主体向比所述第二电极层的外周缘更靠外侧延伸设置,
所述金属层和所述绝缘层设置为在所述俯视观察下从所述压电元件主体的所述第二电极层遍及所述延伸设置部,
所述第一电极层包括第一电极主体部、连接至所述第一电极主体部的第一电极连接部、以及设于所述第一电极连接部上的第一电极包覆部,并且所述第一电极包覆部的一端设于所述压电体层上。
2.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于,
所述金属层使用Pt、Ir、Ti、Zr、Au、Ni、NiCr、TiW中的至少一种形成。
3.根据权利要求1或2所述的压电元件,其特征在于,
所述绝缘层使用Al2O3、TaOx、HfOx、SiO2中的至少一种形成。
4.一种电子设备,其特征在于,具备:
压电元件主体,由第一电极层、压电体层及第二电极层依次层叠而成;
金属层,隔着绝缘层而设于所述第二电极层;
驱动部,由所述压电元件主体驱动;以及
控制部,控制所述压电元件主体,
所述压电体层具有延伸设置部,在从所述第一电极层、所述压电体层和所述第二电极层的层叠方向观察的俯视观察下,所述延伸设置部从所述压电元件主体向比所述第二电极层的外周缘更靠外侧延伸设置,
所述金属层和所述绝缘层设置为在所述俯视观察下从所述压电元件主体的所述第二电极层遍及所述延伸设置部,
所述第一电极层包括第一电极主体部、连接至所述第一电极主体部的第一电极连接部、以及设于所述第一电极连接部上的第一电极包覆部,并且所述第一电极包覆部的一端设于所述压电体层上。
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