[发明专利]蚀刻机风刀的清洗机构及其控制方法

权利要求书

1.一种蚀刻机风刀的清洗机构，包括风刀(1)，其特征在于：所述风刀(1)上设有主管路(2)，在主管路(2)上设有两路分支，一路为与清洗液水槽连接的水管(3)，另一路为通气的通气管(4)，所述水管(3)上设有第一气动阀(5)，水管(3)上设有第二气动阀(6)。

2.根据权利要求1所述的蚀刻机风刀的清洗机构，其特征在于：所述第一气动阀(5)包括第一手动气动阀(51)和第一电控气动阀(52)，所述第一电控气动阀(52)与蚀刻机的控制器连接。

3.根据权利要求1所述的蚀刻机风刀的清洗机构，其特征在于：所述第二气动阀(6)包括第二手动气动阀(61)和第二电控气动阀(62)，所述第二电控气动阀(62)与蚀刻机的控制器连接。

4.一种用于权利要求1的控制方法，其特征在于：所述控制方法包括清洗和风干；

所述清洗包括控制器开启第一气动阀(5)，将清洗液经水管(3)、主管路(2)通入风刀(1)，实现对风刀(1)进行清洗；

所述风干包括控制器关闭第一气动阀(5)同时开启第二气动阀(6)，使气体经通气管(4)、主管路(2)通入风刀(1)，实现对风刀(1)中的残留清洗液进行风干。

5.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于：所述控制方法还包括在进行清洗前对主管路(2)中的药液进行药液回流，所述药液回流包括将残留在主管路(2)中的药液回收至药液箱中。

6.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于：所述清洗的清洗时间为每个风刀(1)清洗400秒。

7.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于：所述清洗液为去离子水。

8.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于：所述风干的通气时间为300秒。

9.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于：所述气体为洁净干燥的压缩空气。

10.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于：所述药液回流的回流时间为5分钟。