[发明专利]用于可磁致动器件的探针卡和包括探针卡的测试系统

说明书

一种探针卡装配在用于测试微机电器件的系统中，该微机电器件具有对磁场敏感的元件。探针卡由PCB形成，PCB具有贯通开口以及探针尖端，用于电接触微机电器件。壳体结构被容纳在贯通开口内。壳体结构包括平面外围区域，该平面外围区域包围至少部分地突出且延伸到贯通开口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成测试磁场，该测试磁场用于微机电器件的测试操作。

优先权声明

本申请要求于2017年2月21日提交的专利号102017000019437的意大利申请的优先权，其公开内容在法律允许的最大程度上通过整体引用并入于此。

技术领域

本公开涉及一种用于可磁致动或可电磁致动器件的探针卡，特别是包括可磁致动的振荡元件的MEMS(微机电系统)器件。MEMS器件可以是微镜。本公开还涉及包括探针卡的测试机器或系统。

背景技术

具有使用半导体材料技术制造的微镜结构的微机械器件在本领域中是已知的。

这种微机械器件用于便携式器件，诸如便携式计算机、笔记本电脑、笔记本(包括超薄笔记本电脑)、PDA、平板电脑、智能手机，以及用于光学应用，特别是引导使用所需方法的、由光源生成的辐射光束。

凭借小尺寸，通过这种器件在面积和深度方面可以满足空间占用的严格要求。

微镜器件通常包括悬挂在腔上方的镜元件，并且由半导体材料体制成，以便例如通过滚动和倾斜移动可移动。

镜元件的旋转借助于目前为静电、电磁或压电类型的致动系统来控制。

认识到对这些MEMS器件的操作执行测试的需要；然而，目前已知用于测试磁或电磁致动的MEMS器件的系统受到用于测试的磁场发生器和测试机的电子电路(晶片探测器和测试仪)之间的电磁干扰现象的限制。此外，由于难以在这种系统内集成磁场发生器，在制造可用于这种系统中的探针卡中也遇到了问题。

因此，本领域需要一种用于可磁致动或可电磁致动器件的探针卡，以及包括适于克服上述困难和限制的探针卡的测试系统。

发明内容

在一个实施例中，适于装配在用于测试可磁致动器件的系统中的探针卡包括：集成电路板，具有在该探针卡的探头尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，该平面区域包围一个或多个座，该一个或多个座从平面区域突出并且至少部分地延伸通过第一贯通开口；以及被布置在壳体结构的相应座中的一个或多个磁性元件，该一个或多个磁性元件被配置为生成测试磁场，该测试磁场被配置为在器件的测试阶段期间磁性地致动该器件。

在一个实施例中，测试系统包括：卡盘，用于支撑半导体材料的晶片，该卡盘包括可磁致动器件，如前段所讨论的探针卡；晶片探测器，被机械地耦合到探针卡，被配置以移动卡盘，以便使该器件的选定部分与探针卡的相应探针尖端电耦合；以及数据处理电路，被电耦合到探针卡，被配置以借助于探针卡将电测试信号馈送到器件，并且对在设备的磁致动期间、从器件经由探针卡处理接收到的响应信号进行处理。

附图说明

为了更好地理解本发明，现在参考附图，仅通过非限制性示例来描述本发明的优选实施例，其中：

图1是具有磁致动的MEMS器件，特别是微镜的俯视示意图；

图2和图3分别是从包括图1的微镜器件的系统的侧视图和俯视图；

图4A和图4B是图1的MEMS器件的测试系统的相应实施例；

图5A至图5D示出了用于容纳磁体的相应结构，该磁体适于生成测试磁场并且可以用于图4A或图4B的测试系统中；

图6示出了根据本公开的一个实施例的图5A至图5D所示的用于壳体结构的支撑和容纳模块；