[发明专利]一种玻璃腐蚀液

说明书

一种玻璃腐蚀液，由磷酸盐、焦磷酸盐、无机碱、表面活性剂和去离子水混合组成，其重量分数分别为：磷酸盐占0.5％～8％，焦磷酸盐占0.5％～8％，无机碱占0.01％～0.5％，表面活性剂占5～45％，去离子水占30～95％，含有20‑99重量％二氟化钾和1‑80重量％的至少一种水溶性多价阳离子盐，它含有最多15重量％；对玻璃的腐蚀效果明显，可以作为ITO玻璃清洗液的主要成分；采用适当的无机物作为本案玻璃腐蚀的主要成分，克服了传统玻璃腐蚀液破坏臭氧层的缺点。

技术领域

本发明涉及一种腐蚀液，尤其是一种玻璃腐蚀液。

背景技术

液晶显示器(LCD)现已从手表、计算器应用扩展到仪器仪表、通讯设备、笔记本电脑等各个方面，液晶显示器之所以能显示特定的图形，就是利用导电玻璃上的透明导电膜，经蚀刻制成特定形状的电极，上下导电玻璃制成液晶盒后，在这些电极上加适当电压信号，使具有偶极矩的液晶分子在电场作用下特定的方面排列，从而显示出与电极波长相对应的图形。

在氧化物导电膜中，以ITO导电薄膜的透光率最高、导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出微细的图形。ITO导电薄膜需要镀在玻璃基板上，该玻璃基板的平整性是影响ITO玻璃性质的重要因素。若不平整，则将影响镀膜后导电玻璃的电阻率，甚至引起断路或短路等严重问题。为了保证平整性，目前一般在镀膜之前对玻璃基板进行抛光处理，但经过抛光后的玻璃基板难免会在表面引入油污、指纹以及抛光磨料颗粒等其它杂质，尤其是抛光磨料颗粒的大量存在使得抛光后的玻璃基板仍然凹凸不平，因此必须对抛光后的玻璃基板进行清洗。由于在抛光过程中一般以CeO2为磨料，该磨料与玻璃基地的主要成份SiO2能够发生键合作用，紧密结合到一起，很难去除，所以要采用适当且高效的清洗方法。长期以来，大多使用三氯乙烷、CFC-113等消耗臭氧层物质(简称ODS物质)进行清洗，但这些ODS物质严重破坏地球高空的臭氧层，严重危害人类生存环境。根据《关于消 耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书》要求，发达国家已于1996年停止生产和使用ODS物质，发展中国家到2010停止生产和使用ODS物质。因此研究替代ODS清洗工艺的新型清洗技术，已成为急需解决的重大课题之一。

发明内容

本发明为了弥补现有技术的不足，提供了一种玻璃腐蚀液及其制备方法。

本发明是通过如下技术方案实现的：

一种玻璃腐蚀液，其特征在于它是由磷酸盐、焦磷酸盐、无机碱、表面活性剂和去离子水混合组成，其重量分数分别为：磷酸盐占0.5％～8％，焦磷酸盐占0.5％～8％，无机碱占0.01％～0.5％，表面活性剂占5～45％，去离子水占30～95％，含有20-99重量％二氟化钾和1-80重量％的至少一种水溶性多价阳离子盐，它含有最多15重量％，优选的是最多5重量％的二氟化铵，它以小于或等于二氟化钾含量的重量比含有二氟化钠，条件是在其含有二氟化铵时，这两种二氟化物的总重量比小于或等于二氟化钾的重量比。

本发明的玻璃腐蚀液，所述聚氧乙烯系非离子表面活性剂、多元醇酯类非离子表面活性剂或高分子及元素有机系非离子表面活性剂，聚氧乙烯系。

本发明的玻璃腐蚀液，所述非离子表面活性剂包括：聚氧乙烯烷基酚、聚氧乙烯脂肪醇、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯胺或聚氧乙烯酰胺。

本发明的玻璃腐蚀液，所述不溶性填料选自重晶石、石膏、不溶性含氟的盐，更特别的是氟化钙、不溶性氟硅酸盐，更特别的是氟硅酸钙或氟硅酸钠、磷酸钙、硫酸钙、无机氧化物，特别是铁、锌或钛的氧化物、糖及其聚合物，如纤维素或其衍生物、木质素、淀粉、高分子量氧化乙烯聚合物、氧化丙烯聚合物或氧化丁烯聚合物、在室温下为固体的脂肪酸及其衍生物、高分子量不溶性聚合物和树脂。

本发明的玻璃腐蚀液，所述表面活性剂选自烷氧基化脂肪醇、含磷酸盐的脂肪醇、含磷酸盐的烷氧基化脂肪醇、氧化乙烯/氧化丙烯共聚物、脂肪酰胺或阳离子表面活性剂、或所述表面活性剂的氟代衍生物、或者硅酮或氟硅酮表面活性剂。