[发明专利]超低振动低温恒温器

权利要求书

1.一种超低振动低温恒温器，其特征在于，所述超低振动低温恒温器包括：

支架，其上能移动的设有冷头支撑平台，所述冷头支撑平台上固设低温制冷机；

内真空罩，其位于所述冷头支撑平台的下方，所述内真空罩的上端通过柔性管与所述低温制冷机密封相连，所述低温制冷机的下端穿设于所述内真空罩内，所述内真空罩、所述柔性管和所述低温制冷机围设形成氦气腔，所述内真空罩上设有与所述氦气腔连通的充注管；

外真空罩，其密封的罩设于所述内真空罩外，所述外真空罩内的底壁上设有样品台，所述内真空罩的下端通过减振导热片与所述样品台相连；

所述低温制冷机包括位于所述内真空罩内的一级冷头和二级冷头，所述一级冷头上设有一级冷头换热器，所述二级冷头上设有二级冷头换热器，所述一级冷头换热器和所述二级冷头换热器均与所述内真空罩相连；

所述内真空罩与所述外真空罩之间设有冷屏，所述冷屏的上端与所述一级冷头换热器相连，所述冷屏的下端与所述外真空罩相连，所述样品台位于所述冷屏内。

2.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述一级冷头换热器包括上部和下部，所述上部固设于所述一级冷头，所述下部与所述内真空罩的内壁相连，所述上部和所述下部均沿周壁等间隔设有多个开缝，两两相邻的所述开缝之间形成换热片，在所述上部与所述下部相互嵌合的状态下，插设于所述开缝内的所述换热片与该开缝之间具有间隙。

3.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述二级冷头换热器包括上部和下部，所述上部固定于所述二级冷头，所述下部与所述内真空罩的内壁相连，所述上部和所述下部均沿周壁等间隔设有多个开缝，两两相邻的所述开缝之间形成换热片，在所述上部与所述下部相互嵌合的状态下，插设于所述开缝内的所述换热片与该开缝之间具有间隙。

4.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述外真空罩的底壁上固设有样品台架，所述样品台架设有凹槽，所述样品台固设于所述凹槽内，所述冷屏的下端与所述外真空罩上的样品台架的凹槽相连。

5.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述超低振动低温恒温器还包括光学平台，所述外真空罩固设于所述光学平台上。

6.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述减振导热片设有至少两道弯曲部。

7.根据权利要求6所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述减振导热片的弯曲部的半径为5mm，所述减振导热片的厚度为0.5mm。

8.根据权利要求1所述的超低振动低温恒温器，其特征在于，所述柔性管为橡胶波纹管，所述减振导热片由无氧铜制成。