[发明专利]一种适用于微波水热反应器的压力变送器

说明书

技术领域

本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种适用于微波水热反应器的压力变送器。

背景技术

压力变送器是一种将压力转换成气动信号或电动信号进行控制和远传的设备，它能将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号，以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节；压力变送器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。

微波加热完全不同于传统加热方式，微波快速反复穿透物质并与极性分子耦合，微波能直接转化为物质内能，实现整体、均匀加热，大幅缩短加热时间，降低加热过程的热损失，显著节能。微波水热合成法是结合微波与水热法的优势，具有反应速度快，产物粒度可控且纯度高、结晶度好、团聚少等特点；在微波水热反应器中运用压力变送器检测反应压力，有易于研究反应的过程；但在微波水热反应器中，在微波和高温条件下，传统的隔离膜易受到不利影响，从而影响压力变送器的精度。

发明内容

本发明解决现有技术中存在的技术问题，提供一种适用于微波水热反应器的压力变送器。

为解决上述问题，本发明的技术方案如下：

一种适用于微波水热反应器的压力变送器，包括压敏元件、隔离膜和填充流体，所述填充流体填充在压敏元件与隔离膜之间，所述隔离膜包括基层、内表面膜和外表面膜；

所述基层为二氧化硅、氮化硅或碳化硅中任意一种；

所述内表面膜为气凝胶薄膜；

所述外表面膜为金属镀膜。

优选地，所述气凝胶选自炭气凝胶、二氧化硅气凝胶中任意一种。

优选地，所述金属镀膜选自蒙乃尔400合金、哈氏合金C-276、锌镍合金或镍钛合金中任意一种。

优选地，所述内表面膜厚度为200-400μm。

相对于现有技术，本发明的优点如下，

本发明的适用于微波水热反应器的压力变送器，隔离膜的内表面膜为金属镀膜，可反射微波、耐高温，在微波水热反应过程中，避免微波对填充流体产生影响，隔离膜的内表面为气凝胶薄膜可吸收由于高温过程中氢原子渗透产生的清洗分子及由于跑气产生的气体，保证在微波水热反应器中，压力变送器的精度和稳定性。

具体实施方式

实施例1：

一种适用于微波水热反应器的压力变送器，包括压敏元件、隔离膜和填充流体，所述填充流体填充在压敏元件与隔离膜之间，所述隔离膜包括基层、内表面膜和外表面膜；

所述基层为二氧化硅；

所述内表面膜厚度为200的炭气凝胶薄膜；

所述外表面膜为蒙乃尔400合金金属镀膜。

将上述压力变送器用于微波水热反应器，可监测微波水热反应过程的压力变化，且保持良好精度和较长的寿命。

实施例2：

一种适用于微波水热反应器的压力变送器，包括压敏元件、隔离膜和填充流体，所述填充流体填充在压敏元件与隔离膜之间，所述隔离膜包括基层、内表面膜和外表面膜；

所述基层为氮化硅；

所述内表面膜厚度为300μm的二氧化硅气凝胶薄膜；

所述外表面膜为锌镍合金金属镀膜。

将上述压力变送器用于微波水热反应器，可监测微波水热反应过程的压力变化，且保持良好精度和较长的寿命。

实施例3：

一种适用于微波水热反应器的压力变送器，包括压敏元件、隔离膜和填充流体，所述填充流体填充在压敏元件与隔离膜之间，所述隔离膜包括基层、内表面膜和外表面膜；

所述基层为碳化硅；

所述内表面膜厚度为400μm的二氧化硅气凝胶薄膜；

所述外表面膜为镍钛合金金属镀膜。

将上述压力变送器用于微波水热反应器，可监测微波水热反应过程的压力变化，且保持良好精度和较长的寿命。

需要说明的是上述实施例仅仅是本发明的较佳实施例，并没有用来限定本发明的保护范围，在上述基础上做出的等同替换或者替代均属于本发明的保护范围。