[发明专利]提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法在审

专利信息
申请号: 201710835379.1 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN107653428A 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 赵浩;孙焕;王涛 申请(专利权)人: 芜湖通潮精密机械股份有限公司
主分类号: C23C4/02 分类号: C23C4/02;C23C4/11;C23C4/134
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司34107 代理人: 方文倩
地址: 241000 安徽省芜*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 提高 氧化 板结 合力 方法
【说明书】:

技术领域

发明属于内壁板制造技术领域,具体涉及一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法。

背景技术

目前国内平板显示行业和半导体行业蓬勃发展,但是给平板显示行业和半导体行业提供相配套的核心电子零部件制造的企业很少,尤其是国内本土行业更是少之又少,平板显示行业和半导体行业一直面对国外厂商的竞争,尤其是价格的竞争,所以各厂商急需寻找到服务能力强且价格又有竞争力的供应商。内壁板是由铝合金材料制成,为了提高其使用寿命和满足工作性能,以往通过铝阳极氧化,形成几个到几百微米的氧化铝薄膜,使其绝缘性、耐蚀性、耐磨性和耐环境腐蚀性能等得提高和改善。在以往的内壁板喷涂过程中三氧化二钇与铝基板的结合能力较弱,不能满足当前生产环境的苛刻要求。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提供一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,目的是减少涂层由于结合力弱而易脱落。

为了实现上述目的,本发明采取的技术方案为:

一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,所述方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行表面烘干热处理,烘干热处理的温度为100-600℃,烘干热处理的时间为8-12h。

优选的,所述烘干热处理的温度为350-600℃。

更优选的,所述烘干热处理的温度为550℃。

所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前进行阳极氧化的步骤。

所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前对铝基板进行清洗、喷砂的步骤。

本发明的有益效果:本发明通过采用喷涂后进行表面干燥热处理从而达到提升三氧化二钇与铝基板的结合力,减少涂层由于结合力弱而易脱落的现象。本发明在一千摄氏度以下都处于极其稳定的状态,处理方法简单,高效,实用性强。

具体实施方式

下面通过对实施例的描述,对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明,目的是帮助本领域的技术人员对本发明的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解,并有助于其实施。

一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,该方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行表面烘干热处理,烘干热处理的温度为100-600℃,烘干热处理的时间为8-12h。为了保证铝基板的不损坏实验做高温度设置在600℃,三氧化二钇(Y2O3)稳定性较强,一千摄氏度以下都处于稳定状态。

下面以干燥热处理的时间为8h,通过不同干燥温度下的具体实施例进行详细说明:

实施例1

将铝基板先进行表面清洗、干燥处理,对铝基板工件非喷涂面用喷涂专用胶带包敷,之后进行喷砂,喷砂压力为0.15-0.25Mpa,喷砂高度为350-400μm,粗糙度大于3.0μm即可。喷砂完毕后,用纯水清洗铝基板工件,之后用气枪将其吹干。然后等离子喷涂三氧化二钇,其喷涂功率29KW-34KW、喷涂速度800-1000mm/s,使得喷涂三氧化二钇涂层的厚度为200μm,最后将喷涂三氧化二钇涂层的工件放入烘箱进行烘干热处理,烘干热处理的温度为600℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为13.88MPa。

实施例2

本实施例与实施例1的不同点在于,在喷涂三氧化二钇涂层之前对其进行喷砂并清洗、干燥后的铝基板采用阳极氧化工艺镀膜,镀膜的厚度为50μm,之后的烘干热处理的温度为550℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为15.71MPa。

实施例3

本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为500℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为12.17MPa。

实施例4

本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为450℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为12.05MPa。

实施例5

本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为400℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为10.02MPa。

实施例6

本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为350℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为9.93MPa。

实施例7

本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为300℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为8.72MPa。

实施例8

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