[发明专利]一种纳米复合涂层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201710829657.2 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107604332B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C28/04 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 兰仙梅 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 涂层 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种纳米复合涂层结构，其特征在于，包括：
CrN过渡层，所述CrN过渡层沉积在基体上；
Ti1-xSixN层，所述Ti1-xSixN层沉积于所述CrN过渡层上；
Cr2O3层，所述Cr2O3层沉积于所述Ti1-xSixN层，且Cr2O3层和Ti1-xSixN层界面为共格外延界面；
所述Ti1-xSixN层，采用Ti1-xSixN陶瓷靶沉积，且Ti1-xSixN层中Ti1-xSixN分子式的0x≤0.05；所述Ti1-xSixN层的Si以固溶形式存在于TiN中，呈面心立方结构；所述Ti1-xSixN层和Cr2O3层组成的Ti1-xSixN/Cr2O3复合纳米层结构重复沉积至少一层；所述Ti1-xSixN层和Cr2O3层组成的Ti1-xSixN/Cr2O3复合纳米层结构重复沉积的总厚度为1μm～12μm；
所述Ti1-xSixN层的厚度控制在2nm～10nm；
所述Cr2O3层在沉积时，采用Cr2O3陶瓷靶，且Cr2O3层沉积的厚度控制在1nm～5nm；
所述CrN过渡层的厚度为50nm～200nm；
纳米复合涂层制备方法包括以下步骤：
S1：利用Cr靶在基体上沉积CrN过渡层；
S2：采用Ti1-xSixN陶瓷靶沉积Ti1-xSixN层，且沉积的厚度控制在2nm～10nm；
S3：在步骤S2中的Ti1-xSixN层上采用Cr2O3陶瓷靶沉积Cr2O3层，且沉积的厚度控制在1μm～12μm，保证Ti1-xSixN层和Cr2O3层之间共格外延生长；
S4：重复步骤S2和步骤S3，直至Ti1-xSixN层和Cr2O3层组成的Ti1-xSixN/Cr2O3复合纳米层重复沉积的厚度为1μm～12μm,所述沉积的方法均采用物理气相沉积工艺。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司，未经艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710829657.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
