[发明专利]一维精密平动机构

权利要求书

1.一种一维精密平动机构，其特征在于：包括“U”型的固定板（1）和平动板（5），所述的“U”型的固定板（1）的横板上侧设置有永磁体（3），永磁体（3）上设置有电磁机构（4），平动板（5）设置于电磁机构（4）上，所述的永磁体（3）的两侧的固定板（1）上对称设置有右读数头（2a）和左读数头（2b），所述的“U”型的固定板（1）两个纵板的外侧分别垂直设置有左外侧平行簧片（8a）和右外侧平行簧片（8b），左外侧平行簧片（8a）和右外侧平行簧片（8b）的另一端面与传动转换板（9）垂直设置，所述的平动板（5）的两侧边上垂直设置有左内侧平行簧片（10a）和右内侧平行簧片（10b），左内侧平行簧片（10a）和右内侧平行簧片（10b）的另一端面与传动转换板（9）垂直设置，所述的平动板（5）的外侧设置有测杆（7），平动板（5）的底面上设置有光栅尺（13）。

2.根据权利要求1所述的一维精密平动机构，其特征在于：所述的“U”型的固定板（1）的纵向板顶部内侧分别设置有左固定板限位元件（6a）和右固定板限位元件（6d），与左固定板限位元件（6a）相对称的左内侧平行簧片（10a）上设置有左平动板限位元件（6b）；与右固定板限位元件（6d）相对称的右内侧平行簧片（10b）上设置有右平动板限位元件（6c）。

3.根据权利要求1或2所述的一维精密平动机构，其特征在于：所述的外侧平行簧片（8a）、外侧平行簧片（8b）相互平行并且大小结构相同；内侧平行簧片（10a）和内侧平行簧片（10b）相互平行并且大小结构相同。

4.根据权利要求3所述的一维精密平动机构，其特征在于：所述的“U”型的固定板（1）、左外侧平行簧片（8a）、传动转换板（9）和右外侧平行簧片（8b）、平动板（5）、左内侧平行簧片（10a）和右内侧平行簧片（10b）之间分别通过螺钉（12）连接。

5.根据权利要求4所述的一维精密平动机构，其特征在于：所述的平动板（5）与测杆（7）通过测杆安装座（11）连接，测杆安装座（11）设置于平动板（5）上。

6.根据权利要求5所述的一维精密平动机构，其特征在于：所述的平动板（5）的底部通过电磁机构安装架（14）与电磁机构（4）连接。