[发明专利]液体处理装置

说明书

本申请提供一种液体处理装置，具备：容器，用于储存液体；第一电极；第二电极，至少一部分配置在容器内；筒状的第一绝缘体，隔着第一空间包围第一电极的侧面，在与液体相接的端面具有第一开口；筒状的第二绝缘体，在第一绝缘体的内侧包围第一电极的侧面；气体供应装置，向第一空间内供应气体，从而经由第一开口将气体排出至液体中；以及电源，向第一电极和第二电极之间施加电压，从而产生等离子体。第二绝缘体与第一绝缘体隔着第二空间配置，使用气体供应装置向第一空间内供应气体，从而第一电极之中位于容器内的部分及第二绝缘体之中位于容器内的部分被气体覆盖。

技术领域

本申请涉及利用了等离子体的液体处理装置。

背景技术

以往，已知在液体的净化或者杀菌等中利用等离子体的技术。例如，在日本特许第5796174号公报中，记载了向液体中供应气体并在所供应的气体内生成等离子体的液体处理装置。

发明内容

本申请的一方式所涉及的液体处理装置具备：容器，用于储存液体；第一电极；第二电极，至少一部分配置在所述容器内；筒状的第一绝缘体，隔着第一空间包围所述第一电极的侧面，在与所述液体相接的端面具有第一开口；筒状的第二绝缘体，在所述第一绝缘体的内侧包围所述第一电极的侧面；气体供应装置，向所述第一空间内供应气体，从而经由所述第一开口将所述气体排出至所述液体中；以及电源，向所述第一电极与所述第二电极之间施加电压，从而产生等离子体。所述第二绝缘体与所述第一绝缘体隔着第二空间配置。通过使用所述气体供应装置向所述第一空间内供应所述气体，从而所述第一电极之中位于所述容器内的部分及所述第二绝缘体之中位于所述容器内的部分被所述气体覆盖。

附图说明

图1是表示在绝缘体上附着的析出物的分析结果的图。

图2是表示实施方式所涉及的液体处理装置的结构的图。

图3是表示比较例所涉及的液体处理装置的电极部的结构的图。

图4是表示图3所示的比较例所涉及的液体处理装置的电极部的电位分布的模拟结果的图。

图5是表示实施方式所涉及的液体处理装置中的电连接的图。

图6A是表示液体的等价电路的一例的图。

图6B是表示液体的等价电路的另一例的图。

图7是表示实施例所涉及的液体处理装置的电极部的结构的图。

图8是表示图7所示的实施例所涉及的液体处理装置的电极部的电位分布的模拟结果的图。

图9是表示实施例和比较例各自所涉及的第一绝缘体的内侧面的电位分布的图。

图10是表示实施例和比较例各自所涉及的保持部的内侧面的电场分布的图。

图11是表示变形例所涉及的液体处理装置的电极部的结构的图。

标号说明：

1 液体处理装置

2 液体

3、3a、3b 气体

4 等离子体

5 气液界面

10 反应槽

20、20a、20x 电极部

30、30a 第一电极

33、33a 端面

34、34a、34b 贯通孔

35 保持部

40 第二电极

50、50x 第一绝缘体