[发明专利]电介质阻挡放电离子化检测器有效

专利信息
申请号: 201710798487.6 申请日: 2017-09-07
公开(公告)号: CN107807167B 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 品田惠 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N27/68 分类号: G01N27/68
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 毛立群;杨楷
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电介质 阻挡 放电 离子化 检测器
【权利要求书】:

1.一种电介质阻挡放电离子化检测器,利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测,所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的,其特征在于,具有:

a)高压电极,面向所述气体流路的表面被电介质包覆;

b)接地电极,所述接地电极是电气地接地并以面向所述气体流路的方式配置的电极,面向该气体流路的表面中至少在所述等离子体生成气体的流动方向上的上游侧区域被电介质包覆,并且被该电介质包覆的区域的至少一部分在所述气体流动方向上位于所述高压电极的下游侧;

c)交流电源,连接于所述高压电极,在所述高压电极与所述接地电极之间施加交流电压,使得在所述气体流路中产生电介质阻挡放电并生成等离子体;

d)电荷收集部,所述电荷收集部为所述气体流路的一部分,位于所述接地电极的被所述电介质包覆的区域的下游侧的端部的下游,具备:试料气体导入装置,将试料导入至该部分;收集电极,收集因从所述等离子体发出的光而从所述试料气体中的试料成分生成的离子,

将在所述接地电极存在于所述高压电极与所述电荷收集部之间的状态下,在该高压电极与该电荷收集部之间能够产生沿面放电的所述接地电极的长度的最大值设为所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离,

则位于所述高压电极的下游的、所述接地电极中被所述电介质包覆的区域的长度,比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长。

2.一种电介质阻挡放电离子化检测器,利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测,所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的,其特征在于,具有:

a)电介质管,所述电介质管是由电介质构成的管并对所述气体流路的上游侧的一部分进行容纳;

b)管路前端部件,将所述等离子体生成气体导入至所述电介质管,由金属构成且电气地接地;

c)高压电极,配置于所述电介质管的外周;

d)上游侧接地电极,电气地接地并且配置于所述电介质管的外周,在所述等离子体生成气体的流动方向上位于所述高压电极的上游且所述管路前端部件的下游;

e)下游侧接地电极,电气地接地并且配置于所述电介质管的外周,在所述流动方向上位于所述高压电极的下游;

f)交流电源,连接于所述高压电极,在所述高压电极与所述上游侧接地电极之间以及所述高压电极与所述下游侧接地电极之间施加交流电压,使得在所述气体流路中产生电介质阻挡放电并生成等离子体;

g)电荷收集部,所述电荷收集部为所述气体流路的下游侧的一部分,位于所述电介质管的下游,具备:试料气体导入装置,将试料导入至该部分;收集电极,收集因从所述等离子体发出的光而从所述试料气体中的试料成分生成的离子,

将在所述上游侧接地电极存在于所述高压电极与所述管路前端部件之间的状态下,在该高压电极与该管路前端部件之间能够产生沿面放电的所述上游侧接地电极的长度的最大值设为所述高压电极与所述管路前端部件之间的沿面放电的开始距离,将在所述下游侧接地电极存在于所述高压电极与所述电荷收集部之间的状态下,在该高压电极与该电荷收集部之间能够产生沿面放电的所述下游侧接地电极的长度的最大值设为所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离,

则所述流动方向上的所述上游侧接地电极的长度比所述管路前端部件与所述高压电极之间的沿面放电的开始距离长,

或者所述流动方向上的所述电介质管的设置有所述下游侧接地电极的区域的长度,比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长,

或者所述流动方向上的所述上游侧接地电极的长度比所述管路前端部件与所述高压电极之间的沿面放电的开始距离长,并且所述流动方向上的所述电介质管的设置有所述下游侧接地电极的区域的长度,比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长。

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