[发明专利]基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺有效
| 申请号： | 201710769563.0 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107782773B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 胡俊辉;刘鹏展;周云柯 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 超声 聚集 方法 纳米 气体 传感器 加工 工艺 | ||
1.一种基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：
(11)将纳尺度材料悬浊液的液滴滴在设于超声台或光滑基板上的超声针系统上；
(12)利用上述超声针系统中的超声物理效应在光滑基板或超声台上形成纳尺度材料的聚集物；
(13)利用聚合物印章将纳尺度材料的聚集物转印至基板或柔性基底上；
(14)将高分子聚合物溶液滴到或喷射到纳尺度材料的聚集物的表面，得到纳米混合物液滴；
(15)将平直的超声振动板边缘插入纳米混合物液滴，在振动方向上前后移动超声振动板，利用声致流体分子间引力减小效应使得纳米混合物液滴扁平化，形成纳米复合材料膜；
(16)在纳米复合材料膜上外接引线，得到气体传感器；
所述纳尺度材料为银纳米颗粒、银纳米线或/和还原石墨烯；
所述高分子聚合物溶液为瓜尔胶水溶液。
2.根据权利要求1所述的基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，所述加工工艺还包括：通过控制纳尺度材料悬浊液液滴的体积与浓度以及超声的条件，来控制纳尺度材料的聚集物的尺度和疏密度。
3.根据权利要求1所述的基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，所述步骤(12)中的超声物理效应为声学流场。
4.根据权利要求1所述的基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，所述步骤(12)中的纳尺度材料的聚集物为：纳尺度聚集物、微尺度聚集物或宏尺度聚集物。
5.根据权利要求1所述的基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，所述步骤(12)中纳尺度材料的聚集物的平面形状包括：圆形、椭圆形、长方形或三角形中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，所述步骤(14)中喷射的方法为一般空气喷射或超声喷射。
7.一种基于超声聚集方法的纳米气体传感器加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：
(21)将纳尺度材料悬浊液的液滴滴在设于超声台或光滑基板上的超声针系统上；
(22)利用上述超声针系统中的超声物理效应在光滑基板或超声台上形成纳尺度材料的聚集物；
(23)将高分子聚合物溶液滴到或喷射到基板或柔性基底上；
(24)利用聚合物印章将纳尺度材料的聚集物转印至高分子聚合物上，得到纳米混合物液滴；
(25)将平直的超声振动板边缘插入纳米混合物液滴，在振动方向上前后移动超声振动板，利用声致流体分子间引力减小效应使得纳米混合物液滴扁平化，形成纳米复合材料膜；
(26)在纳米复合材料膜上外接引线，得到气体传感器；
所述纳尺度材料为银纳米颗粒、银纳米线或/和还原石墨烯；
所述高分子聚合物溶液为瓜尔胶水溶液。
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