[发明专利]一种风刀或液刀的自清洁结构

说明书

本发明公开了一种风刀或液刀的自清洁结构，包括：刀体，刀体是具有出液缝隙的中空腔结构；设置在刀体侧壁上开设与中空腔相连通的用以清除中空腔内部大颗粒污物的可拆卸视窗；能够沿刀体的延伸方向往复移动且可对出液缝隙进行清理的自动刮拭装置，其中：自动刮拭装置感应刀体相对两端的极限位置，且在极限位置之间的区间内进行往复移动。实施本发明的风刀或液刀的自清洁结构，能够有效清除风刀/液刀内部的大颗粒异物，实现定期清洁功能。避免频繁拆卸风刀或液刀，延长风刀/液刀的使用寿命；提高自清洁效率和洁净度，提高产能，有效提升制程能力。

技术领域

本发明涉及机械制造领域，尤其涉及一种用于TFT湿制程中风刀或液刀的自清洁结构。

背景技术

现有技术的TFT湿制程中，风刀(Air Curtain)、液刀(Aqua Knife)使用一段时间后会出现堵塞、分叉现象，进而影响制程效果，特别是在ITO、HF等易结晶环境中，风刀、液刀堵塞问题会更加严重，目前业界大部分采用人工定期清理来解决此类问题，人工清洁风刀、液刀耗时较久，会耗费大量的人力、产能。

由于传统的风刀、液刀的体积较小，大颗异物进入刀体后无法通过人工的方式刮拭来清除，必须将刀体分解进行清洁，刀体频繁拆装会影响到风刀或液刀的使用寿命。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种风刀或液刀的自清洁结构，有效清除风刀/液刀内部的大颗粒异物，实现定期清洁功能。避免频繁拆卸风刀或液刀，延长风刀/液刀的使用寿命；提高自清洁效率和洁净度，提高产能，有效提升制程能力。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种风刀或液刀的自清洁结构，包括：刀体，刀体是具有出液缝隙的中空腔结构；设置在刀体侧壁上开设与中空腔相连通的用以清除中空腔内部大颗粒污物的可拆卸视窗；能够沿刀体的延伸方向往复移动且可对出液缝隙进行清理的自动刮拭装置，其中：自动刮拭装置感应刀体相对两端的极限位置，且在极限位置之间的区间内进行往复移动；自动刮拭装置包括：设置在刀体上且沿刀体的延展方向而设的导向组件和连接在导向组件上的导向支架；述导向组件包括：分别设置在刀体相对两端部的侦测探头；与侦测探头相适配感应的感应头，感应头设置在导向支架上，其中：导向支架在往复移动过程中通过其上的感应头与刀体相对两端部的侦测探头之间的数据反馈确定极限位置；导向支架呈n形，可拆卸视窗呈方块形，其设置在刀体的一侧端部位置或可拆卸视窗分别设置在刀体的相对两侧的端部位置，拆卸可拆卸视窗，通过高压水洗的方式对刀体的中空腔进行冲洗，使异物从可拆卸视窗冲出。

其中，自动刮拭装置还包括：连接在导向支架上的用以刮拭出液缝隙的厚薄规，其中：导向组件联动导向支架及导向支架上的厚薄规在极限位置之间的区间内对出液缝隙进行往复刮拭清理。

其中，导向组件包括：设置在刀体相对两端部的丝杆支架；分别设置在丝杆支架之间的丝杆和滑轨，导向支架可移动的与丝杆和滑轨相连；以及连接在丝杆上的马达，其中：马达驱动丝杆运转带动其上的导向支架沿滑轨移动。

其中，导向组件还包括：用以在极限位置之间控制导向支架移动方向的PLC控制组件。

其中，导向支架呈n形。

其中，可拆卸视窗呈方块形，其设置在刀体的一侧端部位置或可拆卸视窗分别设置在刀体的相对两侧的端部位置。

其中，拆卸可拆卸视窗，通过高压水洗的方式对刀体的中空腔进行冲洗，使异物从可拆卸视窗冲出。

实施本发明所提供的风刀或液刀的自清洁结构，具有如下有益效果：

第一、可拆卸视窗设置在刀体侧壁上且与中空腔相连通，能够清除中空腔内部大颗粒污物；自动刮拭装置能够沿刀体的延伸方向往复移动且可对出液缝隙进行清理，实现定期清洁功能。进一步提高自清洁效率和洁净度，提高产能，有效提升制程能力。