[发明专利]致动器

权利要求书

1.一种致动器，其特征在于，包含：

一悬浮板，具有一第一表面及一第二表面，且可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；以及

一进气板，设置于该悬浮板的第二表面侧，具有一第一表面、至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部，其中该第一表面涂布一掺杂石墨烯材所合成涂料，该至少一进气孔供导入气流，该汇流排孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气流汇流至该中心凹部所构成的该汇流腔室；

一共振片，设置于该进气板与该悬浮板之间，具有一中空孔对应于该汇流腔室，且该中空孔的周围为一可动部；

一压电片，由锆钛酸铅系列的压电粉末掺杂石墨烯制成，且石墨烯的重量百分比介于0.1%至20%之间，供与该悬浮板的第一表面贴附粘着，施加电压得以驱动该悬浮板弯曲振动，其中该压电片具有掺杂石墨烯材所合成银钯合金的两电极，其中一电极的表层涂布掺杂石墨烯材所合成涂料的一导热层，而另一电极的表层涂布掺杂石墨烯材所合成环氧树脂胶的一粘贴层，供与该悬浮板的该第一表面贴附粘着。

2.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，该共振片与该悬浮板、该支架、该外框之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电片受驱动而弯曲该悬浮板振动时，使气流由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片的该中空孔，以进入该第一腔室内，由该悬浮板与该共振片的可动部产生共振传输气流。

3.如权利要求2所述的致动器，其特征在于，该悬浮板为一正方形，并具有一凸部。

4.如权利要求2所述的致动器，其特征在于，该致动器进一步包括：一导电片、一第一绝缘片以及一第二绝缘片，其中该进气板、该共振片、该外框、该第一绝缘片、该导电片及该第二绝缘片是依序堆叠设置。