[发明专利]基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法

权利要求书

1.基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)令白光的光源近垂直地入射待测薄膜，以获取白光反射率谱原始信号；

2)将步骤1)所得的白光反射率谱原始信号进行小波分解；

3)对步骤2)中小波分解的信号抽取近似系数及细节系数；

4)对步骤3)中的各层系数进行阈值处理；

5)重建白光反射率谱信号；

6)对步骤5)得到的去噪后的白光反射率谱信号提取特征值，通过特征值求得待测薄膜的膜厚。

2.根据权利要求1所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤1具体为：白光由点A近垂直进入待测薄膜，在S₁和S₂表面经过数次折射及反射后，其相位发生变化；通过采集反复折射反射后的光线B₁、B₂、…、B_n，得到WLRS原始信号；设原始信号的模型为：

S(x)＝f(x)+n1(x)×n2(x)

其中，S(x)为含噪信号，f(x)为真实信号，n1(x)为加性噪声，n2(x)为乘性噪声；则信号模型可简化为：

S(x)＝f(x)+n(x)

其中，S(x)为含噪信号，f(x)为真实信号，n(x)为噪声。

3.据权利要求1所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤2具体为：选取层数为3的小波对WLRS原始信号f(x)进行小波分解。

4.据权利要求3所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在是，所述步骤3具体为：对步骤2得到的3层分解中抽取出信号的三层近似c_k及其1、2、3层细节d_j,k，其中j表示分解层数，k表示第k个数据。

5.据权利要求4所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤4具体为：取出第j层的细节d_j,k，根据选定的阈值δ_j处理；公式如下：

阈值δ_j由下式确定：

δj=2log(n)]]>

式中n为信号的长度。

6.据权利要求5所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤5具体为：将三层近似c_k和1-3层细节d_j,k进行重构，得到真实信号。

7.据权利要求6所述的基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤6具体为：求去噪后的白光反射率谱信号的反射率的最小值为特征值，特征值与膜厚存在着一定的线性关系，通过此线性关系求出待测膜厚。