[发明专利]粉末堆积体的制造装置及制造方法在审
申请号: | 201710698974.5 | 申请日: | 2017-08-15 |
公开(公告)号: | CN107759070A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 柏木佑介;弥永富久 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 日本东京市千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粉末 堆积 制造 装置 方法 | ||
1.一种粉末堆积体的制造装置,其特征在于,包括:
主喷灯,一边沿着靶棒的长度方向平行移动,一边在所述靶棒上堆积玻璃微粒子;及
侧部喷灯,所述主喷灯的移动方向上,位于所述主喷灯的移动范围的外侧,对所述靶棒上形成的粉末堆积体的端部进行烧制;且
所述侧部喷灯具有多个加热用喷灯,所述多个加热用喷灯沿着所述靶棒的圆周方向相互分离地配置。
2.根据权利要求1所述的制造装置,其特征在于,其中所述主喷灯具有多个堆积用喷灯,所述多个堆积用喷灯沿着所述靶棒的圆周方向分离地配置,分别一边沿着所述靶棒的长度方向平行移动,一边在所述靶棒上堆积玻璃微粒子。
3.根据权利要求2所述的制造装置,其特征在于,其中所述主喷灯具有2根以上、5根以下的堆积用喷灯。
4.根据权利要求1所述的制造装置,其特征在于,其中所述侧部喷灯分别配置在所述移动范围的两侧;
至少一个所述侧部喷灯具有相互分离配置的一对加热用喷灯。
5.根据权利要求4所述的制造装置,其特征在于,其中所述主喷灯在所述靶棒的圆周方向上,配置在间隔更窄的所述一对加热用喷灯之间。
6.一种粉末堆积体的制造方法,其特征在于,包括如下阶段:
利用沿着靶棒的长度方向平行移动的主喷灯,在所述靶棒上堆积玻璃微粒子;及
在所述主喷灯的移动方向上,利用位于所述主喷灯的移动范围的外侧的侧部喷灯,对所述靶棒上形成的粉末堆积体的端部进行烧制;且
所述侧部喷灯具有多个加热用喷灯,所述多个加热用喷灯沿着所述靶棒的圆周方向分离地配置。
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