[发明专利]一种带有压力感应的传送系统

说明书

技术领域

本发明涉及压力感应技术领域，尤其涉及一种带有压力感应的传送系统。

背景技术

清洗机主要作用为在基板制程前清洗基板，如图1所示，清洗机主要包括入口模块1、极紫外光刻模块(EUV模块)2、冲洗模块3、吹干模块4和出口模块5五个单元，每个单元的传送机构6都是滚轴输送机。滚轴输送机主要用于传送基板，在传送过程中，有一个或者几个滚轮的大小有所差异就会导致玻璃传送时，滚轮输送机上存在一些地方凸起或凹陷，这会导致一些滚轮不能完全接触玻璃，从而发生空转现象，另外，如果一个滚轮凸起还会导致玻璃基板背面划伤。可见，由于整个滚轮输送机的平坦度没有监控系统，无法实时监控滚轮运行状况。

发明内容

针对上述问题中存在的不足之处，本发明提供一种带有压力感应的传送系统，能够实时监控滚轮转动过程中与玻璃基板的接触面的压力值，本系统可根据压力值判定滚轮的实际状况并进行调整，滚轮的整个接触面压力都可以被监控。

为实现上述目的，本发明提供一种带有压力感应的传送系统，包括传送机构、压力传感器和触控面板；

所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；

所述压力传感器围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力；

所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。

在一个实施例中，所述压力传感器的输出端与所述触控面板相连，滚轮所承受的压力数据由压力传感器的输出端传送到触控面板进行显示。

在一个实施例中，所述压力传感器设置于所述滚轮的外表面上，以便于测量出滚轮所承受的压力。

在一个实施例中，所述压力传感器设置于所述滚轮的内表面上，压力传感器不容易破损。

在一个实施例中，所述压力传感器为薄膜压力传感器，其有柔软的卷曲性以及耐用性，可适用于各种不同的安装环境。

在一个实施例中，所述薄膜压力传感器为柔性触觉压力传感器，其柔性很好，因而为测量各种接触面之间的压力创造了更好的条件。

在一个实施例中，所述柔性触觉压力传感器包括相叠的第一薄膜和第二薄膜，其中，所述第一薄膜的朝向所述第二薄膜的一侧设置有多条横向带状导体，所述第二薄膜的朝向所述第一薄膜的一侧设置有多条纵向带状导体。这些横向带状导体和纵向带状导体的交叉点就形成了压力传感点阵列，呈网格状。当外力作用到传感点上时，半导体的阻值会随外力成比例变化，压力为零时，阻值最大，压力越大，阻值越小。

在一个实施例中，所述第一薄膜和第二薄膜均为聚酯薄膜，该聚酯薄膜耐高温，好印刷，易加工，耐电压，绝缘性好。

在一个实施例中，所述柔性触觉压力传感器的厚度为0.1mm，十分轻薄，为测量各种接触面之间的压力创造了更好的条件。

在一个实施例中，所述触控面板设置于所述传送机构上，便于根据触控面板所显示的压力值调整传送机构。

在上述技术方案中，本发明提供的带有压力感应的传送系统，与现有技术相比具有以下优点：

本发明通过在滚轮上增加压力传感器，在传动机构传送基板时，基板与滚轮之间产生压力，压力传感器可实时监控滚轮转动过程中与基板接触面的压力值，如果存在压力异常，可根据压力值对滚轮进行调整，滚轮的整个接触面压力都可以被监控。

本发明的带有压力感应的传送系统灵敏性高、实时性强、监控性强；本发明的带有压力感应的传送系统反应时间快，可快速检测到滚轮的问题。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。在图中：

图1为本发明背景技术所述的清洗机的结构示意图；

图2为本发明带有压力感应的传送系统的结构示意图；

图3为本发明中的一种薄膜压力传感器的结构示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例描绘。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

请参阅图2，其为本发明带有压力感应的传送系统的结构示意图。如图所示，该带有压力感应的传送系统，包括传送机构6、压力传感器10和触控面板11；其中，传送机构6包括机架7，机架7上设置有多个滚轮轴8，滚轮轴8上设置有滚轮9；压力传感器10围绕于滚轮9并设置于所述滚轮9上，用于测量滚轮9所承受的压力；触控面板11与压力传感器10相连接，用于显示滚轮9所承受的压力。