[发明专利]一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析方法

权利要求书

1.一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析方法，包括以下步骤：

首先，四维可移动样品加热模块(C15)对被测样品(C14)进行加热，温度在300K到1300K可控；

其次，计算机(C1)通过FPGA时序(C2)控制解吸附激光器(C4)发出解吸附激光，依次经过激光扩束仪(C5)、激光能量调控系统(C6)、石英片(C8)、斩波器(C11)、激光高反射镜(C12)、抛物面反射镜(C13)照射在被测样品(C14)上；ICCD相机(C18)采集微区激光解吸附的XY分辨率；解吸附气体被铱灯丝发射出的70eV高能电子电离再经由四级质谱仪(C16)采集质谱信息，送入计算机(C1)；

最后，计算机(C1)提取需定量的质谱峰的强度及展宽信息，并与计算机(C1)中使用权威计量机构标定的通导型玻璃漏孔分压方法得到的定量校准曲线对比分析，通过数据处理，得到微区燃料滞留的定量分析结果；

进一步包括以下步骤：计算机(C1)通过FPGA时序(C2)控制第一光电二极管(C10)获取石英片(C8)反射的激光强度并将其数据采集到示波器(C3)；计算机(C1)通过FPGA时序(C2)控制第二光电二极管(C17)获取被测样品(C14)反射的激光强度并将其数据采集到示波器(C3)；通过二者的比值得出样品的反射率，如果反射率变化相对比例超过焦耳计(C9)变化的相对比例，则判断样品已损伤；

进一步包括以下步骤：计算机(C1)通过FPGA时序(C2)控制光谱仪加探测器(C22)通过铝膜反射镜(C19)、发射光谱收集透镜(C20)及探测光纤(C21)获取被解吸附区域的发射光谱，如果光谱仪加探测器(C22)可以采集到等离子体发射光谱，则说明样品(C14)表面已经被击穿并损伤；

进一步包括以下步骤：计算机(C1)通过FPGA时序(C2)控制ICCD相机(C18)对被测样品(C14)表面进行监测，通过监测激光照射到样品的光斑大小来判断解吸附微区的大小，得到空间XY分辨率。