[发明专利]一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用

权利要求书

1.一种清洗液的制备方法，其特征在于，其包括下列步骤：将下述原料混合，即可；所述的原料包含下列组分：分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水；其中，所述的分散剂为有机膦类分散剂；所述的有机膦类分散剂为氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、2-羟基膦酰基乙酸、双1,6亚己基三胺五甲叉膦酸、己二胺四甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸中一种或多种；

所述的氟化物为氟化铵、四甲基氟化铵、三羟乙基氟化铵和氢氟酸中的一种或多种；

所述的有机溶剂为醚类溶剂和/或酮类溶剂；

所述的缓蚀剂为环己二胺四乙酸、亚氨基二乙酸、尿素和乙二胺四乙酸中的一种或多种；

所述的有机胺为异丙醇胺、三乙醇胺、六亚甲基四胺和五甲基二乙烯三胺中的一种或多种；

所述的有机胺的质量分数为5％-40％；

所述的分散剂的质量分数为2.5％-3.5％；

所述的缓蚀剂的质量分数为0.5％-10％。

2.如权利要求1所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述的氟化物的质量分数为0.05％-20％；

和/或，所述的有机溶剂的质量分数为10％-65％。

3.如权利要求2所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述的氟化物的质量分数为2.5％-15％；

和/或，所述的有机溶剂的质量分数为30％-50％；

和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为0.5％-5％；

和/或，所述的有机胺的质量分数为13％-25％。

4.如权利要求3所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述的氟化物的质量分数为3-10％；

和/或，所述的有机溶剂的质量分数为35-45％；

和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为1％-3％；

和/或，所述的有机胺的质量分数为15％-20％。

5.如权利要求1所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述水为去离子水、蒸馏水、纯水和超纯水中的一种或多种。

6.如权利要求5所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述的醚类溶剂为丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚和乙二醇二乙醚中的一种或多种；

和/或，所述的酮类溶剂为丙酮、甲乙酮、咪唑烷酮、吡咯烷酮和咪唑啉酮中的一种或多种。

7.如权利要求6所述的清洗液的制备方法，其特征在于，

所述的咪唑烷酮为1,3-二甲基-2-咪唑烷酮；

和/或，所述的吡咯烷酮为N-甲基吡咯烷酮和/或羟乙基吡咯烷酮；

和/或，所述的咪唑啉酮为1,3-二甲基-2-咪唑啉酮。

8.如权利要求1-7任一项所述的清洗液的制备方法，其特征在于，所述的原料组分由分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水组成；其中，所述的分散剂为有机膦类分散剂。