[发明专利]一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法

权利要求书

1.一种稳定的双波长实时干涉显微装置的使用方法，其特征在于：包括下述步骤：

1)激光器一(1)发出的波长λ1的光波经过偏振片一(2)，变为水平方向的偏振光，激光器二(3)发出的波长λ2的光波经过偏振片二(4)，变为垂直方向的偏振光,水平方向的偏振光和垂直方向的偏振光经宽带消偏振分光棱镜一(5)合束后传播方向一致，然后经扩束准直器(6)变为平行光；

2)两个波长的光波经过消色差透镜(8)、长工作距离显微物镜(9)，然后经过宽带消偏振分光棱镜三(10)分光后照明样品(14)；

3)通过长工作距离显微物镜(9)的光波经过宽带非偏振分光棱镜三(10)反射后，进入宽带偏振分光棱镜(11)，水平方向的偏振光λ1光波发生透射照明反射镜一(12)；垂直方向的偏振光λ2光波被宽带偏振分光棱镜(11)的分光层反射，射向反射镜二(13)；

4)从样品(14)反射的物光波原路经过宽带消偏振分光棱镜三(10)、长工作距离显微物镜(9)、消色差透镜(8)，然后经过宽带消偏振分光棱镜二(7)反射后，在CCD相机(15)感光面成两个波长λ1、λ2对应的放大实像；

5)水平方向的偏振光λ1光波经反射镜一(12)反射后，透过宽带偏振分光棱镜(11)，经宽带消偏振分光棱镜三(10)反射，经长工作距离显微物镜(9)、消色差透镜(8)，然后经过宽带消偏振分光棱镜二(7)反射后，到达CCD相机(12)感光面，作为参考光与物光波发生干涉，形成离轴干涉条纹；

6)水平方向的偏振光λ1光波形成的离轴干涉条纹的疏密、走向通过调整反射镜一(12)进行调整；

7)垂直方向的偏振光λ2光波经反射镜二(13)反射后，经宽带偏振分光棱镜(11)反射，经宽带消偏振分光棱镜三(10)反射，经长工作距离显微物镜(9)、消色差透镜(8)，然后经过宽带消偏振分光棱镜二(7)反射后，到达CCD相机(12)感光面，作为参考光与物光波发生干涉，形成离轴干涉条纹；

8)波长λ2形成的离轴干涉条纹的疏密、走向可以通过调整反射镜二(13)的俯仰进行调整；

9)调整反射镜一(12)和反射镜二(13)使两个波长形成离轴干涉图，且干涉条纹相互垂直；

10)CCD相机(15)记录干涉图，结合双波长干涉的原理得到样品的高度分布。