[发明专利]一种短波长深紫外激光输出装置有效
| 申请号： | 201710598849.7 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107317218B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 宗楠;王志敏;张申金;杨峰;张丰丰;彭钦军;许祖彦;薄勇;杨宇頔;李玉娇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 波长 深紫 激光 输出 装置 | ||
1.一种短波长深紫外激光输出装置，其特征在于，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF-PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；
所述第一基频源，用于产生第一基频光；
所述倍频晶体，用于通过非线性过程产生倍频光输出；
所述KBBF-PCD器件为单一块器件，用于输出4倍频光，同时用于将产生的、经旋光器和高反镜返回的4倍频光与第二基频光进行和频，最终实现5倍频光输出；
所述旋光器，用于接收所述4倍频光，并使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；
所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后返回至所述KBBF-PCD器件中，以实现与所述第二基频源产生的第二基频光和频；
所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF-PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深紫外激光输出；
其中，所述短波长深紫外激光是指小于160nm的深紫外激光；
其中，所述第一基频源和所述第二基频源为钛宝石基频源，可调谐范围为750nm～850nm；
其中，所述第二基频源还用于：调节所产生的第二基频光的波长，使所述第二基频光的波长与所述4倍频光的波长匹配，以实现和频。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述倍频晶体为LBO、BBO和KTP中的任意一种。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述旋光器为1/4波片或45度法拉第旋光器。
4.如权利要求1-3的任一项所述的装置，其特征在于，还包括真空腔，所述KBBF-PCD器件、旋光器和高反镜设置于所述真空腔内。
5.如权利要求1-3的任一项所述的装置，其特征在于，还包括同步控制器，所述同步控制器用于控制所述第一基频源和所述第二基频源的同步关系。
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