[发明专利]一种液氮深冷处理设备

权利要求书

1.一种液氮深冷处理设备，其特征在于，所述的液氮深冷处理设备包括由多个分段筒体组成的井式设备本体以及盖体，所述井式设备本体包括外壳和内壁，所述外壳和内壁之间设有隔热层；井式设备本体内沿圆周方向设置有多道液氮管道，所述的液氮管道之间间隔距离相等；在所述的井式设备本体内还设有风扇；所述的盖体与井式设备本体之间采用铰链连接，并通过气杆和连杆机构实现盖体的开关；所述的盖体包括隔热塞体，端盖以及盖冠部，在盖体与井式设备本体盖合时，所述的隔热塞体与井式设备本体内壁紧密配合，端盖通过扣合结构与井式设备本体扣合；所述的盖冠部上设有电机、温度感测器、液氮输入口，所述的井式设备本体的下部设有液氮循环出口；所述的电机、温度感测器、液氮输入控制端均与PLC控制模块相连，所述PLC控制模块通过与井式设备本体固定的支架固定。

2.如权利要求1所述的一种液氮深冷处理设备，其特征在于，所述的风扇设有多个，且相邻风扇之间的间隔相等。

3.如权利要求1或2所述的一种液氮深冷处理设备，其特征在于，所述连杆机构的一端为框型结构并与盖冠部固定，另一端为板状结构，气杆的一端与其连接，气杆的另一端与井式设备本体固定。

4.如权利要求1所述的一种液氮深冷处理设备，其特征在于，所述的PLC控制单元包括PID控制模块，所述的温度感测器随时监控设备内的温度变化，PID控制模块将设备实际运行的温度曲线与设定的温度曲线进行对比，并根据变化情况自动调整液氮的供给量，保持设备内部的温度控制精度。

5.如权利要求1所述的一种液氮深冷处理设备，其特征在于，所述的液氮深冷处理设备的温度精度控制在±1℃，设备内的温度场均匀性为到±2℃。