[发明专利]高热流密度聚焦光源光学系统

权利要求书

1.高热流密度聚焦光源光学系统，包括氙灯光源(1)、椭球聚光镜(2)和光学积分器组件(4)，氙灯光源(1)位于椭球聚光镜(2)的第一焦点处，其特征是；所述光学积分器组件(4)为镂空的内反射正方形通道，光学积分器组件(4)由四个相同的组成部分构成，每个组成部分均由积分器子块(5)、盖板(6)和密封圈(7)构成，所述积分器子块(5)通过密封圈(7)盖板(6)连接，所述盖板(6)上设置进水口(A)与出水口(B)，形成独立的水通道；每个组成部分尖端的光学面(C)相对应，每个积分器子块(5)的一侧设置突出的卡位(8)，每个组成部分的边缘均通过所述积分器子块(5)上突出的卡位(8)连接安装；

所述光学积分器组件(4)前端开口位于椭球聚光镜(2)的第二焦面，氙灯光源(1)发出的光辐射通量经椭球聚光镜(2)反射并以设计的包容角汇聚后投影到椭球聚光镜(2)的第二焦面上，形成小范围的汇聚光束；所述小范围汇聚光束进入光学积分器组件(4)的内反射正方形通道，经所述正方形通道内部反射面反射后，在光学积分器组件(4)后端的出口处形成均匀且高能量的光束辐照面。

2.根据权利要求1所述的高热流密度聚焦光源光学系统，其特征在于，所述设计的包容角范围在50°～110°之间。

3.根据权利要求1所述的高热流密度聚焦光源光学系统，其特征在于，所述小范围汇聚光束指直径为6mm的汇聚光束。

4.根据权利要求1所述的高热流密度聚焦光源光学系统，其特征在于，所述椭球聚光镜(2)材料采用铝，在所述椭球聚光镜(2)的光学表面镀铝反射膜和二氧化硅保护膜。

5.根据权利要求1所述的高热流密度聚焦光源光学系统，其特征在于，所述光学积分器组件(4)材料均采用铝，所述积分器子块(5)和盖板(6)通过数控加工中心加工成型，光学表面加工后镀镍层，再进行细磨抛光，最后镀铝反射膜和二氧化硅保护膜。

6.根据权利要求1所述的高热流密度聚焦光源光学系统，其特征在于，所述密封圈(7)采用硅橡胶O型密封圈。