[发明专利]低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法

说明书

技术领域

本发明属于六氟化硫气体回收技术领域，具体涉及一种低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法。

背景技术

随着社会的不断发展，国家越来越重视环保和温室气体减排，在这个大时代背景下，SF₆气体的温室效应逐渐被环保专家所重视。国内外展开了大量的混合气体研究，期望以SF₆/N₂混合气体代替纯SF₆气体，作为开关设备的绝缘气体。

随着SF₆/N₂混合气体逐渐替代SF₆纯气作为开关设备绝缘气体，SF₆/N₂混合气体的GIS母线在我国已经投入使用。这种SF₆/N₂混合气体的GIS母线在解体进行检修时，混合绝缘气体中SF₆的浓度约为30%，母线中的混合绝缘气体不能直接排空处理，要对其中的SF₆气体进行提纯，达到环保要求的800ppm才能排空。但传统的精馏提纯方法不适用，只能用膜分离装置进行提纯。

30%浓度的SF₆/N₂混合气体在通过膜分离装置分离后，能把混合气体中的SF₆气体和N₂进行分离，分离后的SF₆纯度达到90%以上，但是排放的N₂气中含有SF₆含量为0.61%，这个分离后的气体指标是膜分离装置设计的指标，是没有办法进行改进的。这个排放的SF₆含量超过环境允许的排放指标，必须再次进行回收提纯。如果这种尾气再次用膜分离装置进行分离，达到二级三级膜分离的效果，成本太高不经济。

发明内容

为了克服现有的30%浓度的SF₆/N₂混合气体在通过膜分离装置分离后的N₂中含有低浓度SF₆（含量约为0.61%）不符合环境允许的排放指标（800ppm）的不足，本发明提供一种低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法，可以将含有低浓度SF₆再次进行回收，使尾气达标排放。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：低浓度六氟化硫气体回收装置，包括混合气体进气口、第一压缩机、第二压缩机、存储罐、第一二位三通阀、第二二位三通阀、第三二位三通阀、第四二位三通阀、第一电动蝶阀、第二电动蝶阀、氮气输入口、氮气排空口、六氟化硫回收口、第一分子筛、第二分子筛和六氟化硫检测仪；

混合气体进气口与第一压缩机的进气口连接，第一压缩机的出气口与第一二位三通阀的第一端口连接，第一二位三通阀的第二端口与第二分子筛的混合气进口连接，第一二位三通阀的第三端口与第二分子筛的混合气进口连接，氮气输入口与第二二位三通阀的第一端口连接，第二二位三通阀的第二端口与第二分子筛的氮气入口连接，第二二位三通阀的第三端口与第一分子筛的氮气入口连接，第一分子筛的出气口与第一电动蝶阀的进气口连接，第一电动蝶阀的出气口与第三二位三通阀的第一端口连接，第二分子筛的出气口与第二电动蝶阀的进气口连接，第二电动蝶阀的出气口与第四二位三通阀的第一端口连接，第三二位三通阀的第二端口和第四二位三通阀的第三端口均通过六氟化硫检测仪与氮气排空口连接，第三二位三通阀的第三端口和第四二位三通阀的第二端口均与第二压缩机的进气口连接，第二压缩机的出气口通过六氟化硫回收口与存储罐的进气口连接。

第一分子筛内设置有第一加热棒，第一分子筛上连接有第一压力表。

第二分子筛内设置有第二加热棒，第二分子筛上连接有第二压力表。

低浓度六氟化硫气体回收装置的回收方法，包括以下步骤，