[发明专利]基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器

权利要求书

1.一种基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，包括：

一陶瓷底座（1），顶部设有空腔（14）用于内嵌并固定PyroMEMS安保层基板（2），

另设有一陶瓷输出装药层（3）与陶瓷底座（1）键合，将PyroMEMS安保层基板（2）密封；

所述的陶瓷底座（1）的空腔下设有起爆药孔（4）与点火药孔（5）；起爆药孔（4）与点火药孔（5）的底部对应设置有发火元件；

所述的陶瓷输出装药层（3）上有输出药孔（11）；所述的PyroMEMS安保层基板（2）形成防止起爆药孔（4）与输出药孔（11）进行传爆的隔断结构；

所述PyroMEMS安保层基板（2）上设有穿透PyroMEMS安保层基板（2）的两个相同刻槽（25）、固态悬臂梁（17）、安保滑块（20）和产气药孔（16）；所述刻槽（25）用于内置弹性片（15），弹性片（15）在安全和解除保险状态下可对安保滑块（20）进行限位；所述安保滑块（20）通过固态悬臂梁（17）与PyroMEMS安保层基板（2）连为一体，安保滑块（20）上有一用作飞片（9）加速膛的传爆通道（19）；安保滑块（20）两侧有两个相同的凹槽（18），所述的传爆通道（19）为圆形通孔。

2.根据权利要求1所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，所述的飞片（9）设置在传爆通道（19）与起爆药孔（4）之间。

3.根据权利要求2所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于：飞片（9）采用钛或者不锈钢，直径30μm-50μm。

4.根据权利要求1所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，所述的发火元件为通过导体（24）连接的平面电阻换能元（13）与焊盘（8）。

5.根据权利要求4所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，所述的平面电阻换能元（13）采用二氧化钌材料通过平行印刷方式印制而成，形状为S形，导体（24）和焊盘（8）采用Pb/Ag材料通过微孔注浆、精密导体浆料印刷而成。

6.根据权利要求1所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，所述的陶瓷输出装药层（3）为通过低温共烧陶瓷技术制作，在生瓷带上利用激光打孔制出输出药孔（11），最后将生瓷带叠压在一起，在低于1000℃的烧结炉中共同烧结而成陶瓷输出装药层（3）。

7.一种基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，

一陶瓷底座（1），顶部设有空腔（14）用于内嵌并固定PyroMEMS安保层基板（2），

另设有一陶瓷输出装药层（3）与陶瓷底座（1）键合，将PyroMEMS安保层基板（2）密封；

所述的陶瓷底座（1）的空腔下设有起爆药孔（4）与点火药孔（5）；起爆药孔（4）与点火药孔（5）的底部对应设置有发火元件；

所述的陶瓷输出装药层（3）上有输出药孔（11）；所述的PyroMEMS安保层基板（2）形成防止起爆药孔（4）与输出药孔（11）进行传爆的隔断结构；

所述PyroMEMS安保层基板（2）上设有穿透PyroMEMS安保层基板（2）的两个相同刻槽（25）、固态悬臂梁（17）、安保滑块（20）和产气药孔（16）；所述刻槽（25）用于内置弹性片（15），弹性片（15）在安全和解除保险状态下可对安保滑块（20）进行限位；所述安保滑块（20）通过固态悬臂梁（17）与PyroMEMS安保层基板（2）连为一体，安保滑块（20）上有一装填传爆药柱（21）的传爆药孔（23）；安保滑块（20）两侧有两个相同的凹槽（18），所述的传爆药孔（23）为槽孔。

8.根据权利要求1或7所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，PyroMEMS安保层基板（2）采用硅材料加工，利用ICP干法刻蚀方法制作。

9.根据权利要求1或7所述的基于低温共烧陶瓷的灵巧起爆器，其特征在于，所述的弹性片（15）材料为不锈钢或者锰钢，弹性片形状为V形，夹角为30度-50度，弹性片（15）长为8mm-10mm，宽为0.4mm-0.8mm，厚度为0.3mm-0.5mm，并保证其厚度不超过安保层基板的厚度。